连续、脉冲等离子体合成低表面能薄膜的研究.pdfVIP

连续、脉冲等离子体合成低表面能薄膜研究 陈强，张跃飞，张广秋，葛袁静，庞华，陈光良 （北京印刷学院等离子体物理与材料研究室，北京102600） [摘要] 采用连续与脉冲射频（RF）等离子体两种放电模式合成低表面能薄膜SiCxOy ，通过对薄膜 的性能表征：X 射线光电子能谱（XPS ）测量薄膜表面成分，扫描电子显微镜（SEM）测量形貌， 接触角测量表面能等发现等离子体放电模式影响聚合膜的化学结构、表面成份，决定膜的表面能数 值大小，认为采用脉冲射频（RF）等离子体更易合成低表面能聚合物。 关键词：射频等离子体； 连续脉冲模式 ；低表面能薄膜 Low surface energy polymer deposited in continuous and pulsed plasma model CHEN Qiang, ZHANG Yuefei, ZHANG Guangque, GE Yuanjing, PANG Hua, CHEN Guangliang