级联式MMI型1×16分束器的研究.pdfVIP

25．级联式MMI型1×16分束器研究 李霞 李锡华 卢山鹰 江晓清王明华 (浙、江大学信电系半导体光电子技术与系统研究所浙江杭州 310027) 摘要根据自映像效应设计了一种级联式的集成光学器件——弱限制的MMI型1×16 分束器。该器件以MMI型1×4分束器为单位元件，经过两级级联构成。以BPM法对器件 进行了模拟，以K+Na+离子交换法在BK，玻璃衬底上制作了器件，并初步测试了器件通光 情况。 渺 关键宇多模于涉分束器集成光学玻臾离子交换 折射率分布波导中的自映像特性进行分析与 一、引言 模拟．并采用K‘Na+离子交换法在BK，光 近年来，光通信网络的高速发展，推动了 学玻璃上制作了级联式MMI型1×16分束 集成光学器件研究的步伐。分束器就是其中 器，并取得了初步结果，目前正对该器件作进 的一个重点。分束器不仅是光通信系统与光 一步研究。 信息处理系统中的关键器件，而且是构成其 二、原理与设计 他光器件的置要组成部分。基于自映像效应 (Self—ImagingEffect，SIE)的多模干涉早在一百五十年以前人们就发现周期性 Mode (MuhiInterference，MMI)型器件具排列的物体在相干光源照射下会产生自映像 有结构紧凑、插入损耗小、偏振不敏感、制作 效应5。1972年，Marcuse发现渐变折射率波 工艺简单、容差性好等优点“2，使得MMI型导中可以周期性地产生物体的实像6，Ulrich 分束器深受人们的普遍重视，成为集成光学 进一步阐述了这一原理7～。自映像效应可简 中应用广泛的器件之一。 单表述为：在多模波导中，沿着波导传输方向， 在GaAs、LiNbO。、玻璃等多种材料上均将周期性地自复制出输入场的单像或多像。 可制作分束器，其中玻璃材料不仅价格低廉， 一般，弱限制的MMI型1×N分束器在 而且传输损耗小、易于加工、易于与光纤耦 N增大到8以上就较难同时达到分光比和损 合3。离子交换法制作的玻璃波导是渐变折 耗较优的情况。因此考虑采用级联的方法， 射率分布，用电磁场理论对这种弱限制的 以MMI型1×4分束器为单位元件来构成 MMI型器件进行严格分析有一定困难，一般 1×16分束器或更大规模的集成是一种对分 采用近似法和数值法求解。本文采用具有较 光性能、传输损耗都可进行优化设计的方法。 高分析精度的三维有限差分光束传输法 对于离子交换法制作的玻璃波导，其宽 (Three—DimensionalFinite—DifferenceBeam度和深度方向的折射率分布都是渐变的，具 PropagationMethod，31FDBPM)1，对渐变体分布情况由交换工艺条件决定。根据 一765— 全国第十一次光纤通信暨第十二届集成光学学术会议论文集 Miliou等人的分析和实验结果。，可用高斯函 ZUam} 数或余误差函数分布对离子交换法制作的玻 。 i § § § i 璃波导的折射率分布作简单近似。本文采用 余误差函数近似。 o 芒。 }