微晶硅薄膜电输运各向异性地研究.pdfVIP

微晶硅薄膜电输运各向异性的研究∞ 刘丰珍朱美芳 汪六九韩一琴 中国科学院研究生院，物理系 摘要：采用热丝技术，通过改变氢稀释度获得不同晶态比的微晶硅薄膜，对薄膜的直流共面电 导和交流夹心电导测量表明，在晶态比0．43X。o．8范围，薄膜电输运具有明显的各向异 性，当x。o．8时，各向异性减弱。讨论了薄膜结构与输运各向异性之问的关系。 关键词：微晶硅℃薄膜 电输运 各向异性 siliconthinfilms Hot—wire were CVD Abstract：Micro—crystalline preparedby technique． Filmswithdifferent fraction·X．。wereobtained dilution crystalline bychanginghydrog