含氮硅单晶机械强度地研究.pdfVIP

含氮硅单晶机械强度的研究· 壬淦杨祷{：李东升杨辉李立本阙端麟 (浙江人学硅材料国家重点实验室杭州310027) 摘要：本文刚=点弯方法研究了在室温F普通和微氮硅单品的机械强度。通过实验，我们发现由 r氮的加入，砗单晶材料在室温下．的机械强度有明显地改善；并对室温下氮杂质增强机械强度的可 能机理进行了探讨。研究还发现，硅单晶材料表面状态及晶向对室温F机械强度也存在影响。 关糊：单晶石丰．抗弯强度 1引言 硅材料在常糯r属r脆性材料．极易发生破裂，其较低的机械性能成为了集成电路和器件制造 中非常显著的影响网素。进一步提高硅材料的机械强度，改善其机械性能成为～个十分重要的研究 方向。 K．Sumino”‘譬人对无何错硅单晶的拉伸性能的研究．发现表面损伤对单晶机械强度影响报大， 表面有损伤的硅单品删服应力明显较低。其他一些抗弯强度的研究口’341也表明，表面损伤越少，抗 弯强度越高。这表明硅片的表面状态对硅片的机械强度有明显的影响作用。一些研究发现，CZ硅的 较Fz硅有更高的机械强度．这是由于氧的加入，在一定程度上提高了硅材料的机械性能。谢}0银口】 臀用抗弯强度方法测定在不同温度F热处理后的直拉硅的力学性能变化，并分析了氧、氦含封及其 形态的政变对直拉硅机械性能