a-Si%3aH%2fAl%2fa-Si%3aH三层复合膜的低温晶化的研究.pdfVIP

真空科学与技术 第笠卷第3期 AND VAC删s(卫丑qcE 1l强瑚氍山0(珂(a皿U) 拙年5月 a—Si：H／Al／a．Si：H三层复合膜的低温晶化研究 王瑞春杜丕一1’沈鸪翁文刽韩高荣赵高凌张溪文 (浙江大学材料系硅材料国家重点实验室杭州3l蚴) StIldy a-岛：H／Al／a一瞬：H鼢血1wic量l of(坶班枷i翻廿帅of 胁at L唧加m啦n脚p哪衄m Ge，WE{|lg Wa孵Ruicll咖，DIIHyi，Shen w酬iaIl，‰G卿mlg，zh舯Gaolillg，刁蛐g】(iwen