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二OO八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会论文集 微深孔测量方法 崔继文，谭久彬 (哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所，黑龙江哈尔滨150001) 摘要：为了解决微深孔的精密测量问题，提出了一种基于双光纤耦合原理的微深孔测量方法。 该方法通过双光纤耦合器及显微物镜将光纤传感器触测头在微深孔内的微小位移量转变为CCD图 像捕捉系统的横向位移量，图像空间定位算法得到CCD上的光斑中心位置；由CCD上光斑能量中 心位置与传感器触测点在空间位置的一一对应关系即可得出传感器触测头在孔内部与孔壁的接触状 况，从而实现对被测孔测量时的高精度瞄准；配合测长装置实现对微深孔的精密测量。最后运用该 方法实现了对直径为鳓．2mm、深2．0 mm深盲孔的测量，并对直径为鳓．3mm、深1．0mm的微深 孔的圆柱度进行了测量。 关键词：微深孔； 双光纤耦合； 反向传输； 高精度瞄准’ 中图分类号：TH741．8文献标识码：A Measurementofmicro—holewith ratio highaspect CUI Jiu—bin Ji—wen，TAN (Institute ofUltra—precisionOptoelectronicInstrumentEngineering，HarbinInstituteofTechnology,Harbin150001，China) Abstract-Theresearchofmeasurementofmicro。holewith ratiobasedondouble highaspect optical fibers is small ofafiber inamicro—holecanbetransformed couplingpresented．Thedisplacement probe intothetransverse ofaCCD double fibers displacementimagecapturingsystemthrough optical coupling and locationofthe centeron lens，the CCDCanbeobtained imaging lightspot usingimagespatiallocating contactofthefiber withthewallofamicro—holeCanbeestablished the algorithm，the probe bycorrelating locationofthe centeronCCDandthe locationofthe spotenergy spatial probingspot，the highprecision ofamicro—holetobemeasuredCanbeachievedthe a