纳米加工平台.pptVIP

一、科研条件 * 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 集器件工艺加工、工艺测试、器件封装、可靠性实验和分析于一体的多功能平台； 全方位开放,同时服务科学研究和企业研发的平台； 小片到6吋兼容，微米到纳米加工能力。 纳米加工技术平台 超净实验室－4000m2 一、科研条件 纳米加工技术平台 光刻设备 薄膜沉积设备 刻蚀设备 封装设备 测试设备 拼接误差控制在10nm以内 一、科研条件 纳米加工技术平台 PMMA 30nm光栅 PMMA 10nm 孔 zep520纳米点阵 D 60nm Space 100nm 南京大学超导电子学实验室 超导单光子探测器 重大科学研究计划：“量子信息基本逻辑单元和关键器件的研究” 一、科研条件 纳米加工技术平台 磁性随机存储器（973项目）——中科院物理所 线宽30nm，套刻误差小于10nm 一、科研条件 纳米加工技术平台 巧妙利用电子束直写的加工特点，成功的将电极精准的引致bottom-up生长的纳米线两端，解决了的纳米线电极难以引出的问题。 （纳米结构的DNA生物传感器 ） 一、科研条件 纳米加工技术平台 高深宽比刻蚀III-V族材料 一、科研条件 纳米加工技术平台 倒装焊技术 一、科研条件 纳米加工技术平台 * 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所