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MEMS资讯网（） 微机电系统 第二章MEMS的设计 内容提要 一、硅晶体结构与微观力学分析假设 1、硅的晶面/晶向 硅的晶胞结构 晶面与晶向 各向异性 2、微观力学分析假设 二、MEMS微尺度效应 1、几何结构学中的尺度效应 2、刚体动力学中的尺度效应 3、静电力中的尺度效应 4、电磁场中的尺度效应 5、电学中的尺度效应 6、流体力学中的尺度效应 三、 MEMS的CAD与仿真 1、MEMS的CAD 2、MEMS建模 两种分析方法 3、ANSYS、NASTRAN程序简介 (1)ANSYS在MEMS设计中的应用 （2）NASTRAN的模块介绍 四、MEMS的设计 （1）需求与根源 （2）需要的水准 （3）关键需要法 的思考—处理模式 选择未知参数bo，b1……，bp，使得Q获得最小值，通过求偏导数，获得方程组 j=1，2，……p 上式中xij为第j次影响因素的第i次观察值。现用矩阵表示