负压检测传感器研制分析.pdfVIP

Deveiopne疆f 发 摘要：本文介绍了一种用于便携式创伤恢复系统压力控制的，0～一50ka硅压力传感器的结构设计、 制作版图设计及制作工艺。此系统通过形成的负压环境 ，加快创伤愈合。测试结果表明这种结构的 传感器具有较高的灵敏度和较高的精度 ，性能稳定可靠 ，便于携带，并可利用微机械加工技术买现 低成本批量生产。 关键词：压阻式；压力传感器；封装工艺 中图分类号 ：TP212．1 文献标识码 ：A 文章编号：1006—883X(2010)05-0014-04 萋 张莹 杨梅 于炜 陶瑛 一 、 引言 便携式创伤恢复系统是利用微型吸气泵在创伤表面形成的负压环境，加速创伤面的血液循环，加快 创伤愈合的系统。图 1是该系统工作原理图，系统主要由一个微型吸气泵和一个 0～一50kPa的压力传感 器及控制电路组成。作为便携式设备，要求整个系统要尺寸小、重量轻，因此要求传感器的尺寸很小， 根据实际使用的要求，传感器应变芯片采用体积小、重量轻的硅压阻式，设计传感器 的外形尺寸为 ~~10mmx】5ram (带管嘴)，芯片尺寸为 3mmx3mm，传 感器的测试结果表 明这种结构的传感器具有较高的灵敏 度和较高的精度，稳定可靠，能很好的保证创伤面处于 有利于快速愈合的压力范围内。传感器芯片制作采用微 机械加工技术，实现了批量制作，成本低，能很好得实 现便携式创伤恢复系统得推广和普及。 二、应变芯片设计 1、应变芯片结构 (0l1]和 (0T1]晶向为两直角边 中点处应变最大，惠斯顿 电桥的 0。0 0毒00囊 0 四个 电 阻 设压力 P=50x10Pa，Uo=6V，2a=2000gm，h=60gm， 应 全 部 布 则输出电压为 =46．51(mV) 置 在 膜 片 为了保证膜片在工作时的线性，应使硅膜片处于小 四条 边 靠 挠度变形范围内。硅的弹性极限 =8×1OPa，在弹性变 近 固支 环 形限度 内，硅膜片的应力与应变具有 良好的线性。 根 部 中 点 取最大被测静压 为 P=50~l0。Pa，膜片尺寸 a= 处，我们设 lO00gm，厚度 =60gm。方形膜上最大应力值为： 计 的 0～ O-m = 一1．23．尸-a2 丁(1一V2)=一1．51×10(Pa) ． 50kPa 压 力传感器应变膜片结构如图2示。 由此可见，设置在梁根部的电阻应力值小于8×l0，因而 2、应变膜片结构设计计算 输出特性是线性的。 一 个边长为 2口的正方膜，晶面 (100)，晶向l10， 计算得出应变膜片的结构尺寸为，膜片外形尺寸： 坐标取在膜中心，当两边平行于坐标轴时，其纵向应力 3mmx3mm，应变区尺寸：2mm~2mm，应变区厚度：60gm。 与横向应力之差的最大值在正方形边的中点处，当 4个 桥臂电阻分布如图2所示时： 三、版 图设计 (at一 max：-1．23．P．02 1、电阻设计