CVD金刚石膜三点弯曲断裂韧性测试的研究.pdfVIP

CVD金刚石膜三点弯曲断裂韧性测试研究 蒋政唐伟．毫佟玉梅王四根黄天斌吕反修 3 32475 00083)TEL：(010)62 北京科技大学功能材料及表面技术系(1 刘而凯陈继锋 北j袁人工晶体研究所100018 摘要本文利用韧性材料三点弯曲简支梁受力时的应力分布特点．研究了一种新的小尺寸脆性CVD金刚 石膜断裂韧性单边预裂纹制各方法，成功地防止了CVD金刚石膜预裂纹制各过程中的失稳扩展，并在扫描 电镜下原位观察了预裂纹扩展行为，制得了符台三点弯曲断裂韧性测试的CVD金刚石膜预裂纹样品，测试 了具有尖预裂纹CVD金刚石膜的三点弯曲断裂韧性。实验证明．这种预裂纹制各方法成功率达到80％，而 获得的断裂韧性值更能体现材料的本征断裂性能．这是国内外首次利用三点弯曲测定CVD金刚石膜的断裂 韧性，为金剐石膜的断裂力学性能研究提供了一种有效町靠的方法。 关键词CVD金