半导体厂流场特性和污染防制研究.pdfVIP

第五届海峡雨岸制冷空调技街交流t 半尊髓廒流埸特性舆污染防制研究 许桓瑞韩光曙睬希立 困立圭湾大晕槭械工程研究所 王鹏评漠唐瓿辫股份有限套司 摘要：漾净室最主要的功能在于控制麈品所接闽之瑕境中空氟的品耍，包括了空氟的潆净度、温度舆 瀑度，若能了解潆净室的流埸，牌有助于提高品赏管理舆生麈效率。本文采用敷值模凝方式，探封泳净室 内流埸之分布特性舆舆半尊髓廒之排放氯髓封凛净室之影警，包括了外氟凰管配置之混凰方式舆照明彀 储骚熟量封制程匝温度均匀性之探封、漂净室内高架地板之厘力分析及有毒化单氟髓外泄晴有效排氯控 制程序之氟流分析，并封半尊髓廒之赓氯排放污染提出具髓之改善方案。桠由数值模凝可找到捕充空氯凰 管之最佳配置方式，提高外氯混恩之温度均匀性，并且照明彀倩骚熟量封漯净室温度塌的影譬很大必须列入 彀朴的考量，淑净室内氟流之厘力降主要来自由高架地板，富有毒化早氯髓外泄畴可由逋耆的排氟策略有效 地控制其搪散现象，麝氟排放之污染可藉由提高烟囱高度及排放速度而降低吸入口的污染物灌度。 一、前育 近熊年来，由于半尊髓技衍之蓬勃蚤展，半尊髓已被庸泛的使用在鼋子工案、精密工棠