水冷不锈钢型大功率微波化学气相沉积全透明金刚石薄膜探究.pdfVIP

水冷不锈钢型大功率微波化学气相沉积 全透明金刚石薄膜研究 汪建华(武汉化工学院材料工程系，430073) 邬钦崇(中科院等离子体物理研究所，23003l，合肥) 周键，袁润节(武汉工业大学，430072) 摘要：不又报谨■用无线耦台水冷不锈铡型MPCVD装置成功刮备出大功率(3KW．4KW) 连鳝运{。一成功制各出全运明金剐石薄膜，其最大面权可选由76 5tnnl。经喇曼 光谱t强搀电镜rx劓线衍射，红外光谱测试，表明得到的是高纯度的金刚石薄 膜。 关键词：金刚石薄膜．水玲不锈钢型MPCVD 金月0石是地球上最宝贯的周悉物质之 。在所有天然及音成材}{中，金刚 石具有最，葛的堙爱和热导末，最琵Ej光学透过范围和频率啊应范围。由于金剐 石膜在高温半导体热导率，高保真扬声器、激光窗口、超硬涂层等方面潜在的 应用前景，引起世界各国高度重视。 低压化学气相沉积金刚溥腹技术在80年代初最先由日本无机材料研究所 取得重犬突破以来，经过近二十年的发展．已成功地发展了