压阻式加速度计在高g值冲击测量中失效研究.pdfVIP

压阻式加速度计在高g值冲击测量中失效研究.pdf

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2 1998年第12卷第2期 测试技术学报 Vol12No 1998 土皇亟—i生期2 {Q鲤&丛然!gs!!靼蛭6墅坚!!!塑!!塑!些堡!!!竺坠j呈韭 “,j噩阻式加速度计在高g值冲击 测量中的失效研究‘ 扬志刚 林祖森 (华北工掌院,太粮03005” 摘要在我们应用压阻式加速度计测量20000g冲击加速度的实践中,发现了压阻式加 速度计的严重是效问题.并对采,al机械瘫波器解决冲击信号高衄分量引起压阻式加速度计 共振失效问题进行了初步研究分折.我们认为加速度计失效的主要原因是疲劳问题.主要 方法应请是改进敏感元件的制造工艺技术.提高表面质量. 采用内装式机械滤坡嚣对提高 加速虚计的疲劳寿命有好的效果,而采用外接式机械滤波嚣,则效果不显著。 关键词加速度:冲击;机械滤波:失效 O引言 我们应用压阳式加速度计测量)(×弹丸的发射、飞行过程的冲击加速度。其膛内 冲_击加速度幅值约18000 mS:飞行过程中尾翼张开时的冲击加速度幅 g,作用时间约11 值约为700 1 g g,脉冲宽度约为0 ills,且为多次冲击:在弹丸落地承受幅值约20000 脉宽约数毫秒的反向冲击加速度。为该项测试、我们购置了四枚美国ENDEVCO公司 的7270A,20K型加速度计.其过载指标为60000 kHz。在调试测 g.共振频率为350 试系统过程中.每载加速度计在屯磁激振器上避行数次幅值小于100 Hz的 g+频率160 校准试验.并多次进行模拟试验j巴加速度计安装在一个直径为35mm,长为50mm的 钢质圆柱俸端部,用力锤敲击另一端。冲击力脉宽约0.1ms,幅值约为2250N。 左调试和实弹测试中,有两枚加速 度计失效其第二、三次实弹测试:有 ~枚经两次实弹测试后失效于模拟试 #枢 验;另有一枚未经实弹测试就在模拟 底庄一 试验中失效。解剖了其中两枚加速度 计,发现一枚为一个敏感悬臂断裂.另 ~较敏感悬臀虽未断裂,但已使应变片 图1整体刻蚀敏感元件 。收穑a辆:1998一04—26 314 测试技术学报 1998年第2期 损坏。加速度计的结构原理图如图l所示。 对加速度计在冲击测量中失效的~种解释是:加速度计中感敏元件与冲击激励信号 中高频分量发生共振,共振导致敏感元件位移失控而破坏。为验证上述理论,我们对此 进行丁分析。 1 模拟试验时加速度计所受激励信号分析 : I 在测试系统模拟试验时,加速度计再旰受的激励信号就是钢柱有端砸f安装加速度计处) 对其左端面敲击力的加速度响应。力锤敲击力可表示为半正弦脉冲 . p:』pn衄酬‘‘

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