SnO-%2c2-主体材料气敏振荡特性进一步研究.pdfVIP

V01．15 第15春第4朔 郑州轻工业学院学报(自然科学版) No．4 2000年12月 JOURNALOFZEENGPAOUINSTITUTEOFLIGHTINDUSTRY(Naturd 文●■号，1004—1478(2000)04—0027—04 ·气体传矗■研究· SnO。主体材料气敏振荡特性的进一步研究 张正勇， 张耀华， 刘锦怀 (中国科学院台肥智能机械研究所，安徽奢肥230031) 擅要：经对以SnO：为主体材井的掺杂Pd的振薅型气教元件的实t研究争分析，对其棒蓦机 理菱得了进一步的认识：掺杂Pd是炭生电导振蔫的曲要条件；南隶度的Ht甘振蔫有抑制作 用|某些气体对元件的振藩特性亦能产生影响，而振荡麓率的高低取决于气体吸附反应产物的 如力I蕾类型气教元件在低温或常温下对Ht具有较好的戢意特性． 美t词：氧化谒；气教嚣件；振薪；青金属；掺杂+、 中圈分类号：TP212．2 文献标识码；A 0引言 在半导体氯他钧气教材料中，SnO：是最实用化、商品化的一种气敏材料，也是人们研究量耀人的一种气 t材料．传统的气体检测机理是基于材料的电导的可逆变化，即在洁净空气中呈现低电导，而在还原性气体 中呈现膏电导，以此来检测还原性气体．SOz气教材料不仅具有上述一般的气敏特性，而且一定条件下在某 些气体中，其电导还会发生规律性的振荡，可以利用这种电导振荡特性来检测这些气体．对于引起这种电导 振荡现象的原因的解释已经很多o“]，对此笔者也曾较系统地进行了分析，并提出了一些新的观点”o．本文在 文献[3]的基础上，进一步对SnO：电导振荡的特性进行分析，并从本质上解释：为什么有些气体俺引起电导 攘蔫，有些气体不能引起电导振蔼，为什么有些气体会使原本可以引起电导振荡瑰象的气体不发生摄蔼 现象． 1 Sno。气敏材料的电导振荡特性 1．1攮翦墨SaO。气t材料硬元件的材备t 一般杂质的质量分藏为2％～5“，譬杂的杂质及舍量根据检测气体的不同和电导的不同要求可以调整．将 mm～∥1．5mm舶璩状，并在其中制作上电撮并}I出两 上述●杂后舶气t材科研磨后调制成糊状，制威∥l 根引线以便舅试，再经一定温度烧结后即成为振荡型或烧结型常温气t元件．元件经琉水化扯理以改善振荡 特性，再经老化后即可进行测试． n～5l 摄蔫型气敏元件的结构如图1所示；其基本测试电路见图2，凰一般为20 n，测试电压一般为直 灌5V～6V． ． I．2曩翦盈气t元件的攮藩特性 现在已经实用化的性能较好的振荡型气敏元件是CO气敏元件，它的典蛩的振蒋特性如图3所示．圈4 是乙炔气t元件的振甍特性． t一日囊：2000一07—10 作者■升：张正鼻薰喜；异：器至；燕(1科96量4兰妻手墨墨罐鬟警芝?中田井学院夸息t托辄械研究所科研究置．童妥耳L事t毫封抖与件毒一)，弄，安t省寺鼻市^，中田井学院夸息t托辄械研究所科研究置·童妥耳L事t‘幸f卉与件薯 暑，t蠢材井、t能量嘲与拄翻摹巍研宽． 邦州轻工业学院学报(自赫辩学版) 2000正 画 旺 圉1振茄型气敏元件的结构 图2基本测试电路 番㈣～耋i鼬 o 1 3 4 o 1 3 4 5 l，孟 ：／mln 田3CO气敏元件的典型攉茄特性 图4 己靛气教元件的其型振菸特性 2振荡型气敏元件振荡特性的进一步研究