BaTiO+3陶瓷铁电畴动态行为扫描电声显微镜研究.pdfVIP

BaTiO。陶瓷铁电畴动态行为的扫描电声显微镜研究+ 廖军扬阳惠森兴殷庆瑞 (中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室，上海，200050) 摘要扫描电子声显微镜是近几年发展起来的一 和畴壁运动规律。由于其独特的成像机理和非破坏性 种新型显微成像工具，具有独特的威像机理和非破坏 的直接观察，使得电声显微镜在电畴动态研究和铁电 性亚表面戚像能力。不需要对样品进行特殊处理，扫 相变研究方面有较大的应用潜力。本文研究了Ba— 描电声显微镜就可用于铁电畴观察。本文研究了Ba— TiO。陶瓷在外电场作用下电畴结构的动态变化情 TiO。陶瓷在外加电场作用下电畴的动态变化，观察 况，初步摸索出引入外加电场进行的动态研究所要求 了较大范围内陶瓷材料畴结构的变化状况。实验证明 的实验条件和实验参数。 了扫描电声显微镜在电畴畴壁运动规律、极化反转和 2实验方法 铁电相变研究中有很好的应舟前景。 关键词SEAMSEM压电耦合铁电畴畴壁 扫描电声显微镜由六个部分组成：I)电子束发生 运动 器，2)电子束强度调制器，3)电声信号处理器，4)试样 和探测器组件，5)图像显示器，6)计算机控制。(图1) 1 引言 Electron—Acoustic 扫描电声显徽镜(Scanning Microscopy)是在扫描显微镜(SEM)和光声显微镜 (OAM)基础上发展起来的一种新的成像技术。由于 其独特的成像机理，扫描电声显微镜可以获得以往成 电子衷强度谪q矗 M．White 像方法无法获取的信息。1963年，Richard 睁 鞋光声成像实验的基础上提出了利用被调制电子柬 激发声波信号进行成像的设想。1980年，英国的G． S． Brandis，A． Cargilllll口1和美国的E． 图l电声显徽镜框图 RosencwaigD3分别研制出扫描电子声显微镜。此后该 l Block for Fig diagramcomputercontrolledSEAM 技术逐步应甩刭广泛的研究领域，显示出了在材料分 扫描电声显微镜在扫描电镜第一级透镜前加了一对 析中独特的优越性。具体应用涉及到亚表面缺陷检 偏转板，由斩波器控制，对电子束能量进行周期性的 测j合金马氏体相变；半导体掺杂分布；集成电路布线 调制。当能量受调制的电子柬打到样品表面对，电子 缺陷；金属和陶瓷材料残余应力等。 柬的能量将被样品以不同的形式吸收并在样品表面 在中科院科学仪器厂生产的KYKYI000一B型扫 下一定区域建立一个周期性变化的瞬时温场和电场。 描电镜基础上我们研制改装成了扫描电声显微镜设 其变化周期同步于调制频率的改变(困2)。对周期性 备“。，并成功地对金属、结构陶瓷和半导体材料等进 变化的温场，其性质相当于一热波。热波是一种高阻 行了成像实验