超小型压力传感器在动态测量中的应用和研究.pdfVIP

超小型近力传感器在动态测量中的应用与研究 中国航芏工业总公司第六一四研究所李丹荚 搞要： 泰之介绍美国LNTRAN公司生严的EPI型超小型动态压力传感器，在全尺寸 轴对称紊流发生器研制试验应用过程中，出现的一些问题作了技术性的探讨，提 出了相应的改进措施，并就压力传感器的安装及与测量系统的配备作了介绍． 关键词： 压力传感器 应用 系统配备， 、／ 1 EPI型超小型压力传感器的结构和特点 EP[一08013系列型压力传感器是利用单晶硅所固有的压阻效应 原理，采用集成电路工艺的方法，将四个(厂、形)P型电阻条扩 散在N型膜片上，V四个P型电阻条再外接组成惠斯顿电桥，当N型 硅膜片受压时，不同晶向上的电阻值则发生变化，使电桥失去平衡， 便产生与压力呈线性关系的电信号，从而达到压力与电量的转换。 1．1简述传感器内部结构及工艺过程 EPI型传感器的外形与内部结构如图l，传感器的最前端是保护 网罩，直径为中2．5ram，端面均布20个直径为e1)O．5mm的小孔， u 保护网罩后面是N型硅材料的敏感元件——膜片，其厚度为0,4 m，在N型硅材料上扩散P型四个电阻条材料，然后采用静电封接 低温玻璃烧结的方法，将膜片组装在带有空腔的壳体上，引出导线 及参考管，再装入外径为中2．5ram套管内进行压焊，最后对传感器 表面进行保护处理。 ， } 6 涸 、、一／ 2 l传愍器保护网罩 N型硅膜片3．P型电阻条4．连接膜片的金线5．空腔 6．参考管7聚四乙烯镀银导线8．P型品向扩散电阻条9．有效压力区间A．{呆护网 翠端面B，硅膜片 图l传感器结构图 1．2EPI型传感器特点 EPI型传感器具有灵敏度高、频晌快、体积小和耗电少等特点， 它所承受的压力与输出电压是呈良好的线性关系，它能在温度一20 ℃～+120℃范围内工作，温度补偿器能在+25℃～+80。C范围 中发挥作用，曾在某型号机保形模型试验、七级压气机喘振监测试 验中得到广泛应用。 EPI型传感器桥臂电阻对称，电桥易平衡，但零点漂移大，需要 不断地进行零位修正。另外，传感器硅膜片薄厚制作工艺难以控制， 同类型传感器的性能差异大，膜片娇脆，安装固定比较困难。 2 EPI型传感器在素流发生器上的测量位置及工作状态 2．1测量位置 素流发生器如图2所示，16支EPI型传感器安装在测量段沿圆 周均布的8个总压探针安装座上。如图3。主要用于测量加速气流， 当气流在喉道处达到音速，过后继续加速，经激波与附面层相互作 用时，测量不同动态总压面平均紊流度，即畸变压力，紊流发生器 是吸气式装置。工作在低于一个大气压环境的流场，即流场是负压。 图2紊流发生器 十传感器动态铡点位置 图3压力溅点分布图 、∞，自盏∞鳍簇 2．2工作状态 EPI型传感嚣是压董式抟苍器，从理论上讲压兰式的定义：“两 ^＼匝力之间的相对差值”，即当膜片+两边压力相等时输出为零，莆 ～边压力相对另一边大气旺比较时，膜片上压阻效应发生变化，桥 路就育输出，换句话i兑，就是流场中相对大气压有压差，则压差式 传感器就有电信号输出。但是，困不同类型的传感嚣制造工艺结构 不同。其真实压差传感器的概念是有差异的，压差是有所指的，不 能笼统而沦，如国产的产品——电感式压差倦感器，厂家就注明了 《专感器的压差正负方向，丽EPI型传感器没有注Eq传感器的压差正 负方向，当它工作在低于一个大气压时(参考管通大气)，传感器 的膜片随着负压的逐渐加大