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MEMS薄膜等效应力梯度在线提取方法的研究——戎华 王 鸣 MEMS薄膜等效应力梯度在线提取方法的研究 戎 华 王 呜 南京师范大学，南京，210097 摘要：提出了一种利用静电作用下悬臂梁的吸合电压提取薄膜沿厚度方向的等效应力梯度的方法，实际模 拟表明该方法计算速度快、精度高，能够应用于实际工艺过程中的在线测量。 ‘ 关键词：悬臂梁；吸合电压；等效应力梯度；模拟 中图分类号：TN401 文章编号：1004—132 x(2005)S1一0367一03 of Film ontheIn——SituMeasurementMethodfor StressGradientaMEMS Study Equivalent Hua Rong WangMing Normal 10097 Nanjing UniversitY，NanJing，2 in～situ stress afilm Abstract：An actuated measurementmethodfor of was electrostatically equivalentgradient thatthe basedon ofasetofcantilevers．Actualsimulationindicates calculationandac— proposed pull—in speed voltages ofthemethodareideal。andthemethodcan tOin—situmeasurement． curacy apply words：cantilever；pull—instress Key voltage；equivalentgradient；simulation 0 引言 螺线测试结构测量等效应力梯度的方法[4]，以及先用光学 结构层淀积是硅基MEMS器件加工过程中的重要工技术直接测量悬臂梁释放后末端的挠度，再从测得的末端 序。由于晶格失配和温度变化等不利因素的存在，会在结 挠度计算等效应力梯度的方法[s“]，但这些方法或者实现 构层中产生残余应力及厚度方向的应力梯度。对结构层中 起来比较麻烦或者需要昂贵的仪器设备。本文提出了一种 等效残余应力的在线测量，文献[1，2]已做了大量的研究， 通过静电吸合法在线测量薄膜材料中应力梯度的方法。 但是对结构层中应力沿厚度方向分布的在线测量，至今还 1 吸合电压 没有令人满意的方法，可是，应力的分布梯度对许多器件 制作的成败或性能有着至关重要的影响，尤其是对含有悬 悬臂梁结构如图1所示，梁由导体材料构成，梁的下 臂梁结构的器件，过大的应力梯度会使悬臂梁在释放后发 面是固定平面电极。在梁和下面的固定电极间加上直流电 生很大的挠曲，从而直接导致器件制作的失败。测量薄膜