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中国机械工程第16卷增刊2005年7月
超细晶氮化硅陶瓷超塑成形研究
骆俊廷1李洪波1张凯锋2
1．燕山大学，秦皇岛，0660042．哈尔滨工业大学，哈尔滨，150001
摘要：以非晶氮化硅纳米陶瓷粉体为初始材料，以纳米氧化钇和氧化铝为添加弃3液相烧结获得超塑性陶瓷
块体材料，在成形速率为0．2mm／min，温度为1550℃的条件下，实现氮化硅陶瓷的超塑性成形。对室温和高温
断口形貌分析表明：氮化硅陶瓷的室温和高温断裂方式均为沿晶断裂，在室温断口上存在大量的细小白色氮化
硅颗粒，而高温断口上却几乎不存在这样的颗粒。成形前，烧结体仅有少量的微小缺陷，成形后则以这些烧结缺
陷为“核心”形成了大量的“空洞集团”。
关键词：氮化硅；超塑成形；断口；玻璃相；空洞集团
X(2005)$1一0326一03
中图分类号：TFl25．2 文章编号：1004～132
of GrainedSiliconNitride
SuperplasticFormingSuper--fine
Luo Li
Juntin91Hongb01ZhangKaifen92
1．Yanshan
University，Qinhuangdao，066004
2．HarbinInstituteofTechnology，Harbin，150001
nano—sizedsiliconnitride weresintered nano～
Abstract：Amorphous powders byliquidphase
sized and asadditives．The was inalow of1550℃with
A1203Y203powders superplasticformingproceededtemperature
a of0．2mm／min．Thefracturefashionwas forbothelevatedandroom
formingvelocity intercrystalline
white in in
Therewerealotoffine fractureface．butfewelevated fractureface．
grainsroom—temperature temperature
Thedifferenceswere mechanismofsiliconnitrideceramics．The
interpretedbysuperplasticforming softeningglass
in holdthe offinewhite in fractureface．Thereareon—
phasegrainboundarypresentation grainselevated——temperature
afewsmallsintereddefectsbefore therearealotofcavity whichsurroundaboutsintereddefects
ly forming，but groups
after
forming．
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