超高真空排气设备测温系统误差的校正.pdfVIP

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2017-08-14 发布于安徽
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超高真空排气设备测温系统误差的校正张晓林刘燕文许柯蔡延宁姚刘聪戴志浩微波器件与技术研究发展中心摘要：通过分析行波管和排气台经常出现在高温漏气的现象，发现现有排气台烘箱测温系统存在问题。从理论上对这一问题进行了分析，并在实验上验证了这一分析。理论和实验表明，随着温度的升高，现有排气台烘箱显示温度与真实温度相差增大。真实温度与显示温度最高相差71℃。解决了困扰行波管排气工艺过程中行波管在高温时经常漏气的难题。关键词：行波管;排气工艺;测温系统;温差电偶 m2n15J．电位差。表金属A §。仕羽F气由此推断电偶温度 h11丑/,,/i二士七i 旨排气工艺过程中， i23℃时，其真实温，京，国防工业{ ≠教育出版社北京，机械工：