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低掺杂对ZnO：Al薄膜性质的影响。
薛书文。 刘彦章 祖小涛
(电子科技大学应用物理系，成都610054)
摘 要：利用溶胶凝胶法在(0001)蓝宝石衬底上制备了Zn0：Al薄膜，薄膜表
面具有交叉链状形貌。随着掺铝浓度的提高，链条有明显变细的趋势。X射线衍射
证实，提高掺铝浓度有利于促进薄膜沿(002)方向生长，并且光学带隙随掺杂浓
较强的紫外发射外，还在500nm处出现了与本征缺陷有关的绿光发射带。随着掺
杂浓度提高，紫外峰强度增大，而绿光发射带强度减小。
关键词：ZnO薄膜；A1掺杂；扫描电镜；光致发光；XRD；吸收光谱；溶胶凝
胶法
ofLow of Filmso
Effects Concentrationonthe ZnO：Al
Doping Properties
XueShuwen●LiuZuXiaotao
Yanzhang
of ofElectronicSciences
(DepartmentAppliedPhysics，University
of 610054)
TechnologyChina，Chengdu
l
Abstract：InterconnectedmicrostructuralZn0Althinfilms withdifferent
doped
aluminumconcentrationwere substrates
depositedon(0001)sapphirebysol—gel
showedthat concentrationhad in—
technique．SEMmicrographs dopant pronounced
fluenceontheformationofinterconnected diffraction
microstructure．X—raypat—
ternsshowed was theincreaseof concentra—
enhancedwith
that(002)peak dopant
tion．Theband ofall broadenedduetoBurstein—Mosseffect
opticalgaps samples
withthe concentration．Thebandvalue from
doping gap ranged
increasing optical
filmsexhibitedaultraviolet
3．21eVto3．25eV．Photoluminescen
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