变刚度后屈曲式微力传感器的数值模拟与设计.pdfVIP

变刚度后屈曲式微力传感器的数值模拟与设计 叶璇 李喜德 （清华大学 航天航空学院，100084） 摘要 本文基于细长杆在受轴向压力超过临界载荷会发生横向失稳的特点，模拟和设计了 不同尺寸的后屈曲式微力传感结构。通过有限元数值模拟，计算了所设计后屈曲式微力传 感器的测力范围与微力分辨率。结果表明测力上限在微牛量级，力分辨率能够达到皮牛量 级。 关键词：后屈曲、力传感器、皮牛、有限元 一、 引言 随着微纳米技术的快速发展，微尺度材料和结构在各个领域得到了广泛的应用[1]， 对这些微纳米尺度的材料和结构的力学性能的研究就变得十分重要。由于材料的尺度减 小，在研究其力学性能时，被测量的载荷达下降到微牛乃至皮牛量级。传统的加载和测 力结构已经无法适用，所以研究适用于微纳米尺度的力传感器成为重要的课题。 本文对提出的集成电热预加载后屈曲式微力检测结构进行了数值模拟[2,3,4]，通过 对图1 （a）中悬浮电热结构施加均匀温度载荷，使得悬浮电热结构发生热膨胀形变，从 而压缩细长压杆使之屈曲。随后沿中心杆轴向施加微力载荷，研究中心杆上所施加的微 载荷与细长压杆横向变形D 之间的关系。 图1 （a）集成电热预加载的后屈曲式轴向微力传感器平面图，（b）未施加温度载荷时形貌，（b）施 加温度载荷，驱动细长压杆屈曲后形貌。 二．有限元数值模拟 597 细长压杆的尺寸 （长、宽、厚）选取分别为L=1400 m，w=20 m，t=2 m。初始 缺陷为三角形，缺陷初始量为 =7 m，见图2 （b），热驱动杆的长度为2000 m。模型  选用单晶硅材料，弹性模量为170 GPa，泊松比 0.22 ，热膨胀系数为2.510-6 m/K。利 用三维 20 节点实体单元建立有限元模型，采用非线性有限元方法进行分析计算。考虑 到模型的对称性，建立对称模型，整个模型共有11885 个单元和64559 个节点，见图2 。 模型中左压杆端部和热驱动杆上端固定，所有对称面上选取对称边界条件。先对悬 浮电热结构中热驱动杆施加均匀温度载荷，温度分别升高100，150，200 摄氏度，即实 现预加载驱动压杆屈曲，见图3 （a ）；然后进入传感器实际工作状态，即在中间刚性连 接杆上施加微力载荷，见图3 （b）。通过有限元数值模拟，得到所施加的微力F 与压杆 横向变形D 之间的关系 （F 与D 的比值定义为刚度），见图4 。 图2 后屈曲式微力传感器整体模型 （a）压杆局部网格划分，（b）单根压杆形貌 a）预加载完成，（b）实际工作状态 图4 连接杆上的力-横向变形 图3 （ 三、模拟结果及讨论 3.1 计算结果分析 情况一，即温度增量为200 摄氏度，驱动杆端部轴向位移δ=40.3 m，左端压杆横 向位移D=100.9 m，对应的刚度为0.118 N/m；情况二，即温度升高到150 摄氏度，δ 598 =32.1m，D=90.1 m，刚度为0.139 N/m ；情况三，温度升高到100 摄氏度，δ=22.3 m， D=78.3 m ，刚度为0.184 N/m，见图4 。 3.2 力传感器序列——实现皮牛量级力分辨和变刚度微力测量 改变传感器的压杆长度和宽度，并进行不同温度增量的预加载，可以得到不同刚度 的力传感器。这样能够得到一个传感器序列，称之为多层级微力传感，可以实现从皮牛 量级到毫牛量级的跨层级微力测量。通过有限元计算，设计不同力测量范围，计算结果 见表1： 表 1 不同尺寸下力传感器刚度值 （N/m）（保持w=20 m 不变） Lt 16001 14002 14001.5 14001 10002