一种交流激励电容测量电路的性能测试.pdfVIP

一种交流激励电容测量电路的性能测试张炜，等 一种交流激励电容测量电路的性能测试木 张炜“邢文奇2，胡红利2 0082) (1’西仪集团西安工业自动化仪表研究所西安，71 (2’西安交通大学电力设备电气绝缘国家重点实验室西安，710049) 摘 要：差动电容传感器已广泛地应用于压力、压差、位移、加速度、振动等非电量的精密测量，参比电容传感器有 望用于煤粉浓度测量等领域，而微小电容测量电路是电容传感器应用中的核心和关键技术。微小电容测量的难点在于杂散 电容的存在以及电磁干扰，而交流激励电容测量电路可以采用调制解调方式将缓慢变化的电容传感器信号调制在激励源提 供的高频载波上，有效抑制同频干扰，工频干扰，运算放大器的失调电压和失调电流，电阻电容等器件的低频噪声干扰。 在活塞压力平台上对交流激励电容测量电路进行了性能测试。结果表明，交流激励电容测量电路迟滞误差为o．19％，非线 性误差为o．23％，重复性误差为o．29％，可应用于参比电容传感器测量系统。 关键词：电容传感器；交流激励电容测量电路；活塞压力传感器；标定 Abstract：Di岱orentsensorhas aVery r01einthe measurementof capacitaIlce doyde important precision a11dvibration，andref色rence sensor coal thesmaU pressure，displacement，accelerationcapaci协ncepulverizedconcen仃ation，and circuitismecoreand ofa sensor of capacitancemeasuring keytecllnologiescapacitanceapplications．thedi伍cultycapacitance liesinthe of and theacexcitationofthe Measuring presencestraycapacitanceelectromagneticinterf色rence，and capacitance circuitcanbeusedmodulationanddemodulationoftheslow in sensor modulationinthe measuring changescapacitancesignal ca玎ierexcitation effectiveinhibitionofthe high．行equencv source，the same仔equencyinterference，矗equency o丘§et andofI’set noiseinted毫renceofresistorsand the oDerationalamDli6ervoltage current，Low丘equency capacitors，etc．0npiston Calibrationtoconducta testof interfacecircuit．Theresultsshowmatmeswitched pressure stage perfbn]衄nceswitched-c印acitor imemcecircuit e玎0rof0．1 erroris is0．29％． 9％，nonline撕ty