论玻璃基板称重系统精度提高的对策.pdfVIP

论玻璃基板称重系统精度提高的对策.pdf

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论玻璃基板称重系统精度提高的对策 周波王丽红胡恒广高俊杰 (东旭集团有限公司) 摘 要:应用于玻璃基板生产的在线式称重系统(以下简称称重系统),要求能够快速、精确、非接触 式(不能接触玻璃基板品质保证区)的称量玻璃基板的重量。为解决原称重系统的问题,我们设计一种 不需要取出装置的称重系统,这样即可解决取出、放回过程的时间占用,同时也能消除电气连接对称重 精度的影响。经过实际使用,发现该称重系统仍存在一些影响精度的问题。通过几项措施,本次设计的 称重系统精度大大提高。改造后的系统精度完全满足前~。工序工艺控制的要求,能够快速反馈精确的重 量数据。 关键词:玻璃基板称重系统精度提高 1.背景技术 应用于玻璃基板生产的在线式称重系统(以下简称称重系统),要求能够快速、精确、 非接触式(不能接触玻璃基板品质保证区)的称量玻璃基板的重量。该重量数据需要及时 的反馈给前端工序,以便实时的监测玻璃基板的成型质量。在质量不符合要求时,及时调 整工艺参数,提高玻璃基板的良品率。 以第五代(5G)玻璃基板为例,其生产节拍为30秒/片。这就要求称重系统的全部称量 时间必须在30秒内,其中包括玻璃基板输入/输出称重系统的时间。 原有的称重系统,在称重传感器和玻璃基板之间设计有一套玻璃基板取出装置(以下 简称取出装置)。这个取出装置的作用是将玻璃基板从其输送设备上取下,使得其重量全 部作用在这个取出装置上。而这个取出装置的重量又全部作用于称重传感器上。此时,称 重传感器可以称量出该取出装置与玻璃基板的累加重量。因为该取出装置的重量是已知 的,所以可以轻易的计算出玻璃基板的重量。 然而,原有的取出装置具有两个明显的缺点。一是由于取出装置的存在,则必然要有 取出玻璃基板、放回玻璃基板两个动作,这两个动作耗时较长,制约了牛-产效率的提高; 二是该取出装置中采用气动元件直接夹持玻璃基板,那么压缩空气管路及磁性开关导线就 不得不连接在取出装置和称重系统机座之问。这两种连接也会影响称重精度。 2.系统结构 为解决原称重系统的问题,我们设计一种不需要取出装置的称重系统,这样即可解决 取出、放回过程的时间占用,同时也能消除电气连接对称重精度的影响。结合5G玻璃基 板的实际生产情况,我们采用的方案如下。 该称重系统包括两个称重装置和一部控制装置,叙述如卜: 10l 5G液晶玻璃基板生产时,由一1种带夹子的输送小车,夹紧玻璃基板后,垂直吊装运 输。输送小车在特定的轨道上一次运动到各个工位。其中,与称重相关的有玻璃基板装载 二【:位、玻璃基板卸载工位,空载小车返回工位等。为了实现玻璃基板不离开小车即能完成 玻璃基板称重,新设了两个工位。一个工位在卸载玻璃之后,装置玻璃之前;另一个在装 载玻璃之后、卸载玻璃基板之前。每个工位上均设计了一种称重装置,这样,这两个称重 装置就可以分别称出空载输送小车的重量和负载输送小车的重量。两个数据相减即可得出 玻璃基板重量。 上述玻璃输送小车有一个金属材质的底板,底板上有两个定位孔。输送小车不带动力, 因此不需要任何电气连接。输送小车置于轨道之上,有底板下部由电动机驱动的尼龙辊子 通过摩擦力驱动输送小车前进。 根据这…情况设计了一种称重装置如图l所示,由固定底板104、气缸103、直线轴 柱109组成。固定底板安装在导轨下方,并与导轨固定连接。气缸,直线轴承安装在固定 底板上。气缸的缸杆与升降底板连接,因此升降底板可在气缸的驱动下做升降动作。安装 在升降底板上的导杆置于直线轴承内,可以起到升降底板升降时导向的作用。称重传感器 安装在升降底板上,而称重横梁安装在称重传感器的称重面上。称重横梁上安装辅助支柱 和定位柱。 气缸在下位时,升降底板也在下位,这时定位柱和辅助支柱不会干涉输送小车的运动。 当输送小车到位需要称量时,气缸顶‘丁f起升降底板。经过称重传感器、称重横梁同时顶升 起辅助支柱和定位柱。定位柱与所述输送小车底板上的定位孔位置对应,辅助支柱可起到 稳定顶升输送小车的作用。 图2是本称重系统原理图,图中的称重传感器108测量的重量值传输到称重控制器112 模块中,将两个工位传输过来的重量值进行相减计算,所得差的绝对值和两个工位的测量 值一同显示在触摸屏114中,可方便操作者查看。

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