在SrTiO3基底上用溶胶-凝胶法制备CeO2缓冲层.pdfVIP

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2017-08-13 发布于安徽
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在SrTiO3基底上用溶胶-凝胶法制备CeO2缓冲层.pdf

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第卷增刊低温物理学报 * JAB 1* 年月 (4?28!8 K%L;26M %N M%O #89P8;6#L;8 P4/!?(! ， *,, +, %DG 1 *,, !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 在基底上用溶胶凝胶法 !#$% ’ 制备()%* 缓冲层，，杨良斌+ * 陈胜+ * 韩征和* 刘庆+ + 材料科学与工程系，清华大学，北京 +,,,-. * 应用超导研究中心，清华大学，北京 +,,,-. 是目前被广泛研究的能与超导材料有良好晶格匹配的缓冲层材料，溶胶凝 ()% /0(% ’ * 胶法是一种成本低廉的非真空制备薄膜的方法，如果能用这种方法制备质量良好的()% 薄 * 膜，则可降低覆膜导体制备的成本本文通过一种以（）· 为先驱液相的溶 /0(% 1 () 2% 34 % * 胶体系，在（）基底上用溶胶凝胶方法制备了薄膜研究了不同热处理温度对 !#$% +,, ’ ()% 1 * 薄膜晶粒生长的影响为了避免薄膜表面微裂纹的形成，研究了在烘干和热解过 ()% 1 ()% * * 程中所采用的有效方法利用，，和，对薄膜的吸热放热过程、表面形 1 #56 7!( !89 :;7 ()% * 貌和相组成进行了分析结果表明，该溶胶经旋涂、下烘干以及直接热解后，再在 1 +*, ,, 3,, 下烧结，可制得无裂纹和孔洞、表面质量良好的()% 薄膜1 * + 引言