高精密度液体感光树脂凸版(液体版)的工艺的研究.pdfVIP

高精密度液体感光树脂凸版(液体版)的工艺研究 8057 震张沛苏兆文贾伟喜豢清溢精密光电有限公司馥深圳51 摘要：本文提出一种制作LCD用高精密度网点液体版的方案，通过接近式曝光理论分析和采用特殊的工艺方法．使 得网点的浮雕结构台理，获得了高分辨率、高均匀性的网点结构，从而可印刷出不同厚度且膜层均匀的PI定向膜。 关键词：液体感光树脂版液体版PI定向膜移印版 前言 1．2曝光方式的问题 在液晶显示器(LCD)制作过程中，液晶分子定向 曝光的UV光为漫反射型，入射角变化范围大，造 剂(P1)的涂布是一项关键的工序。涂布方法一般有三成网点表面对曝光间隙和抽气真空度很敏感，沟槽浅，网 种：旋转涂膜法、浸泡法和凸版印刷法，其中凸版印刷 点凸柱不锐利。 法是目前通用的PI印刷方法，其它两种方法基本上已被 1．3材料影响的问题 淘汰。国内LCD厂家制作STN和高档TNLCD主要使 固体版不像液体版，未曝光树脂仍是固体态，须置 用液体版．制作低档LCD用固体版。大多数台湾及东南 于显影液中借助于毛刷的机械摩擦，刷洗出网点沟槽，网 亚的知名LCD公司都使用液体版来完成PI成膜。固体版 点边缘欠陡直。 与液体版在物理和化学特性方面存在诸多差异，总的来 说，液体版在成膜均匀性、耐化学性和耐用性等指标上 2方案与制作 要优于固体版。 基于对网点曝光极限能力的分析，制作完美液体版 液体版和固体版存在性能差异的根本原因有两个， 网点结构有几个条件： 一是材料特性不同，二是凸台网点的高密度浮雕结构的 (1)网孔轮廓光滑、边缘锐利且极薄的网点掩膜层 制作工艺和结果不同，后者对PI印刷的润湿性和均匀性 (2)极薄的凸块图形掩膜层 以及膜厚影响很大。 (3)曝光的UV光接近于平行光 为此，我们设计一种比较理想的液体版制作方法利 1问题的提出 用我公司制作的高精度高分辨率铬版，在铬膜面涂敷黑 既然凸版网点的微观结构在一定的程度上决定了PI 色感光树脂，经曝光、显影得到所需要的凸版图形．即 成膜的均匀性、厚薄和耐用性，那么反映凸版网点结构 得到较理想的覆盖有凸版图形的网点铬版，显然这种网 的主要指标有哪些?网点分辨率、网点大小均匀性、网 点铬版是可以脱膜后反复使用的。再找到一种隔离液体 点凸柱锐利等是网点结构的主要指标。通常固体版制作 版树脂和网点掩膜版的很薄的覆盖膜，采用发散角小于5 过程的几个问题严重地限制了这四个指标明，具体叙述 度的uv光源，利用显影液对曝光和未曝光树脂溶解差 如下： 异性获得了良好的网点浮雕结构。 1．1菲林掩膜的问题