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19．光纤耦合输出高功率阵列半导体激光器 吕景文 薄报学 高欣 30022) (长春理工大学吉林长春邮编1 摘要：采用柱透镜对10单元阵列半导体激光器的输出光束进行了有效收集、预准直及 与多模光纤之间的耦合实验。激光器采用808nm波长、150pm条宽的发射单元，周期为 影响耦合效率的主要因素。 关键词：光纤耦合阵列^高功呶 LD性能的逐步提高，其光纤耦合技术也得 一、引言 到了迅速的发展，国外许多公司均有尾纤输 大功率半导体激光器具有体积小、重量 出的大功率LD器件，其输出功率可从单芯 轻、效率高、工作寿命长及可直接调制等许多 的几百毫瓦到阵列器件的几十瓦。目前国内 重要特点，可广泛应用于光学指示、泵浦光 已经具备了大功率阵列LD的研制能力，本 源“1、材料加工、激光医疗、通讯、娱乐及军事 文在单管大功率LD器件的光纤耦合研究”1 等领域．在许多方面已经取代了传统的固体 基础上，进一步报告了采用我们研制的 和气体激光器。一维线阵是半导体激光器获 808nm波长10单元阵列半导体激光器，用 得高功率输出的一种基本结构．使器件的输 微透镜和多模光纤束进行的阵列耦合研究试 出功率从单元器件的几百毫瓦提高到几十瓦 验，得到了较为满意的结果。同时研制了高 甚至上百瓦。然而，由于半导体激光器的光 功率阵列LD光纤耦合输出组件。 波导存在较强的非对称性，其输出光束空间 二、耦合实验 分布在垂直于结平面方向和平行于结平面方 向出现较大的差别，且具有较大的发散角，使 实验用一维线阵列半导体激光器为标准 高功率阵列半导体激光器的直接应用受到了 的cm条阵列结构，器件总宽度为10mm，阵 许多限制。半导体激光器采用光纤耦合输出 列单元宽度为150／zm，周期1000／zm，发光源 方式不仅简化了器件的应用条件，也改善了 总数为10，激光器的最大连续(CW)功率输 器件输出光束的非对称性，同时还可以简便 出为10W。半导体激光器与光纤耦合，根据 实现多个LD光源之间的输出光耦合或组 LD与光纤之间是否存在光学元件可将耦合 合，得到更高的功率输出，有利于发展LD在 方式分为直接耦合和间接耦合。直接耦合具 激光加工方面的应用。因此．光纤耦合输出 有结构简单的特点，但耦合效率较低，一般只 成为I。D(特别是阵列I，D)的一种很有发展能达到50％～60％。在I。D与光纤之间插入 前景的光输出方式。近年来。随着大功率 微透镜等光学元件可以有效的汇聚I，D的输 7 一6l 全国第十一次光纤通信暨第十二届集成光学学术会议论文集 出光束．压缩垂直结平面方向的光束发散角 表面上，石英材料具有较大的折射率(”= (在不较大增加光束直径的条件F)，从而明 1．8)，对发射光源具有最大的汇集能力(光纤 显改善I．D与光纤问的耦合。为此本文采用 芯与结线平行)．因此将石英光纤芯贴装于 间接耦合方式实现r阵列I。I)与光纤束间的I。D发射表面适当距离可以大大压缩其垂直 较高效率耦合光输出。 于结平面方向上的光束发射角，实现大功率 1．高功率阵列I．D输出光束的预准直 LD输出光束的预准直，使激光器的光束发 预准直是将光