硅基PCR生物芯片微型加热器及其温度传感器研究.pdfVIP

下载本文档

18
0
约2.22万字
约 4页
2017-08-13 发布于安徽
举报
版权申诉

硅基PCR生物芯片微型加热器及其温度传感器研究.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

硅基[^I生物芯片微型加热器及温度传感器的研究 ! ! 席文柱 !闫卫平 ! 杜立群 ! 郭吉洪大连理工大学电子系! 大连理工大学微系统研究中心!辽宁大连 # !b b !!B%# 摘要!采用化学腐蚀及干法刻蚀相结合的技术制作[^I生物芯片的微反应腔!并在微反应腔上制作金属薄膜微型加热器和温度传感器!分析了微型加热器和温度传感器的特性!并给出扫描电子显微镜照片$实验证明比较适合做温度传感器! 是较好的微型加热器材料!能够满足 ?, ?,^O [^I 生物芯片温度特性的要求$ 关键词!聚合酶链式反应%生物芯片%微型加热器%温度传感器中图分类号! 文献标识码! 文章编号! # $ % ?= [!b!! A !B’!)=’’B%%# %’%)%##)%# # # F*/*’$#(%)-(*#$%8(*’-*$’)+-* *$’-7$*/*)/%$)GHF .%#( 0 0 ! ! cD]17):;4 ! EA? ]1,),7 ! T‘ _,)47 ! H‘F C,);97 2 Q ! ! ! # !!N(%) @.(,%-)#,@# #((-# N9.9#2#3(-$% ) ;(,8#).) N9.9#!!B%#78#9 J * 1 1 4 * 14 ! ! ! $ !L($(9-,87(#%(- )-+,-)$$%(: ;(,8#).) N9.9#2#3(-$% ) ;(,8#).) N9.9#!!B%#78#9 * 4 14 4 * 14 % 1./-$’#- ;1*,6O9)6;+*/1O9M[^I /,96;, M+/O,6+P15/ R1P6;1*,KPO 1P6;,7 +755O -+K*+ 2 . . .2 1P6;,7 $;17P;1*1P+-*1*/O+71*,6O9);1+P1O+75P1* 1O+P4O1K17K9OR1O1M+/O,6+P15,7*,6O9) 2 6;+*/1O$;164ON1K9M*,6O9);1+P1O+75P1* 1O+P4O1K17K9O+75,PK\(L 2 K6+71-16PO97*,6O9) $ K69 1 ;9P9KR1O1 O1K17P15$;118 1O,*17PK697M,O*15P;+P?,