硅基微燃料电池中电极层研究.pdfVIP

硅基微燃料电池中电极层的研究 硅基微燃料电池中电极层的研究+ 王晓红，谢克文，周俊，刘理天 e-mail：wxh-ime@tsinghua．eAu．cn [摘要]介绍一种基于MEMS技术的硅微燃料电池，并对其核心部件一电极层进行了研究。利 用多孔硅疏松多孔的特性，及IC加工的兼容性，使其作为微燃料电池的电极扩散层，优化了 其制备工艺，并对多孔硅膜表面金属铂的淀积工艺进行了研究。 [关键词]硅微燃料电池电极层多孔硅MEMS 引言 近年来，基于MEMS技术的各类微型器件发展迅速，并且有了广泛的应用，但与之相应 的微型能量提供系统(MicropowerSystems)的发展则较慢，严重削弱了微器件和微系统在微 型化、集成化等方面的优势。集成系统的发展要求能量提供装置在体积上与其它MEMS器件 相当，具有固态结构，高效，低损耗，寿命长，并可采用微机械加工技术进行制作等特点。 针对上述要求，基于MEMS技术的硅基微燃料电池的研究，正在引起世界上MEMS和燃 料电池研究领域人员的重视“．2．4J。本文介绍一种基于MEMS技术的硅基微型质子交换膜燃料 电池(gPEMFC)，利用MEMS加工技术和薄膜制备技术，在硅片上制各微型燃料电池，并对 其电极组合层进行了较深入的研究。此燃料电池，是将燃料和氧化物(通常为氢气和氧气) 通过化学反应释放的化学能连续直接地转换成电能的装置。除了满足MEMS系统应用要求以 外，它本身还具有如下优点：(1)能量转换效率高；(2)安全可靠性高；(3)环境污染小， 无有害气体，无噪声。 1．基于MEMS技术的微燃料电池的结构 燃料电池一般由基座、电极层和电解质三部分构成。当在阳极(负极)上连续通入燃料， 如气态氢气或者液态甲醇等，而在阴极(正极)上连续通入纯氧或者空气，这样就可以在电 极上连续发生电化学反应，并产生持续的电流。 我们研究的是一种微型质子交换膜燃料电池(PEMFC)，如图一所示。采用硅材料作为基 底，其基底由两片硅片(硅片1，2)组成，利用MEMS加工技术和薄膜淀积技术在其上形成 输送燃料的通道、反应层和集流层等。燃料可以是氢气或液态甲醇。电极层由多孔硅和铂(Pt) 电极组合而成。两个电极之间的电解质是固态高分子聚合物薄膜，大多采用美国杜邦公司研 制的质子交换膜(Nation)系列产品。它的作用是，其一为阳极产生的Ir(即质子)提供从 阳极到阴极的通道；其二作为隔膜隔离两个电极的反应气体。电池的阴极暴露在空气中，直 接利用空气中的氧气作为氧化剂，这样做一方面简化了电池的结构，同时减少了输送纯氧的 成本，是一种较好的研究雏形。 空气 Pt(阴极) Mion Pt(阳极) 400 um 硅片2 400um 硅片1 图一微型燃料电池结构图 ‘国家自然科学基盒t大研究计划项目(项目号 7∞ 第八届全国敏感元件与传感器学术会议论文集 2．电极组合层的研究 PEMFC电极一般由扩散层和催化层组成，是微型燃料电池的关键。扩散层的作用在于支 撑催化层，增加催化剂有效利用面积，并为电化学反应提供气体(或液体)通道和排水通道： 催化层则是发生电化学反应的场所，是电极的核心部分。所以，作为扩散层的材料既要有一 定的支撑强度，又要利于在其上淀积质量优良的催化层。一般的燃料电池以碳布作为电极扩 散层”I，厚度约为300p．m，孔径约为20nm-Sgm。目前在小型燃料电池中有用碳纳米管表面作 电极扩散层的研究一，。 本文中，我们采用多