结构分析-2.4-STM-06.5.8.pptVIP

2.5 扫描隧道显微镜 (STM) 2.5.1 STM的特点 2.5.2 STM工作原理 *** 2.5.3 STM制样技术 *** 2.5.3.1 影响因素 *** 2.5.3.2 测量用样品 ***2.5.3.3 实验方法提示 2.5.4 STM的应用 2.5.5 STM在LB膜领域的应用 **2.5.6 在STM基础上发展的其它新型显微镜 1) 激光力显微镜(LFM) 2) 磁力显微镜(MFM) 3) 静电力显微镜(EFM) 4) 弹道电子发射显微术(BEEM) 5) 扫描离子电导显微镜(SICM) 6) 扫描热显微镜 7) 扫描隧道电位仪(STP) 8) 光子扫描隧道显微镜(PSTM) 9) 扫描近场光学显微镜(SNONM) 5) 此外，由于扫描隧道显微镜的问世使人们观察和移植固体表面原子成为可能，在此基础上导致了一个新的交叉学科——原子技术(或称原子工艺)的出现。原子技术指用扫描隧道显微技术或其它方法在原子尺度(纳米尺度)对材料的加工和制备。 6) STM局限性：不能探测样品的深层信息、范围小，探针质量依赖于操作者的经验等。 图18为聚酰亚胺(18)LB膜的形貌及分子排列结构。STM图象表明，所制备的LB膜的聚合链排列有序, 链间距即横向周期约0.7 nm, 纵向上所谓的“之”字型结构的周期为1.1 nm。这些数值与根据分子面积在理论上所预估的结果相符。 欧阳健明. 《LB膜原理与应用》, 暨南大学出版社,1999. 图18 聚酰亚胺LB膜的STM图像 八-4-(四氢糠氧基)双酞菁钕[Pc2NdH(O(CH2)3CHCH2O)]在石英基底上的3层LB膜形貌。可以看到6个独立的分子簇，它们之间紧密排列且界线分明，通过分子簇中心的最短距离从0.40 nm到0.98 nm不等，表明一个分子簇就是一个分子的多聚体，分子随机分布且不能覆盖基底。 欧阳健明. 《LB膜原理与应用》, 暨南大学出版社,1999. 图4-19 Pc2NdH[O(CH2)3CHCH2O]8(91)3层LB膜的STM图像 在STM出现以后，又陆续发展了一系列新型的扫描探针显微镜，例如， 原子力显微镜(AFM)、 激光力显微镜(LFM)、 磁力显微镜(MFM)、 弹道电子发射显微镜(BEEM)、 扫描离子电导显微镜(SICM)、 扫描热显微镜、 扫描隧道电位仪(STP)等。 这些新型的显微镜，都利用了反馈回路控制探针在距离样品表面1nm处或远离样品表面扫描(或样品相对于探针扫描)的工作方式，用来获得扫描隧道显微镜不能获得的有关表面的各种信息，对STM的功能有所补充和扩展。 激光力显微镜的探针是一根长半毫米的钨丝或硅探针，其尖端至少在50nm以下，在探针的底端装有一个压电能量转换器，将交流电转化为探针的振动，当探针的振动频率接近其共振频率时，由于探针的共振，对驱动信号起放大作用。把这种受迫振动的探针调节到试样表面时(2—20nm)，探针与试样表面之间会产生微弱的吸引力，使探针的共振频率降低，驱动频率和共振频率的差距增大，探针的尖端振幅减小。将这种振幅的变化用光学测量法探测出来，据此可推出样品表面的起伏变化。左图为硅表面各向异性刻蚀出的1μm宽V型槽的LFM象，放大部位面积为1μmX1μm。 磁力显微镜(Magnetic Force Microscopy,MFM)也是使用一种受迫振动的探针来扫描样品表面，所不同的是这种探针是沿着其长度方向磁化了的镍探针或铁探针。当这一振动探针接近一块磁性样品时，探针尖端就会像一个条状磁铁的北极和南极那样，与样品中磁畴相互作用而感受到磁力，并使其共振频率发生变化，从而改变其振幅。这样检测探针尖端的运动，就可以进而得到样品表面的磁特性。右图为使用MFM观察得到的磁光盘表面的磁数据位的磁结构(凹坑伏)。 在静电力显微镜中，针尖和样品起到一个平行的板极电容器中两块极板的作用。当其在样品表面扫描时，其振动的振幅受到样品中电荷产生的静电力的影响。利用这一现象，就可以通过扫描时获得的静电力图象来研究样品的表面信息。左图为2.5μmX2.5μm的蓝宝石表面EFM图象，其中左面一幅图象用排斥力获得，右面一幅图用吸引的静电力获得。 弹道电子发射显微镜是在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的，它所用的样品是由金属/半导体或半导体/半导体构成的肖特基势垒异质结。当针尖被调节到接近异质结表面时通过真空隧道效应，针尖向金属/半导体发射弹道电子。通过观察针尖扫描时各点的基极-收集极电流Ic和Z电压Vz，可以直接得到表面下界面结构的三维图象和表面形貌。右图为Au/GaAs(100)肖特基势垒结构的STM形貌象(上)和BEEM象(下)，二者是同时采集的。 扫描离子电导显微镜是由Hansma等人设计的一种用于生物学和电