燃烧化学沉积制备纳米陶瓷薄膜.pdfVIP

燃烧化学沉积制备纳米陶瓷薄膜 张增志 付跃文周有强 (中国矿业大学北京梗西100083 257391 0887 Tel：1370l 0lO-6239 E-mail：￡z!鱼§i!：￡坚!§：141：塑) 摘要 本文提出了沉积纳米陶瓷薄膜的一种新方法一一燃烧化学沉积法．谊方法省去 了真空条件，直接在空气中沉积纳米陶瓷薄膜．其主要特点是将配制好的初始液体雾化， 让谊液雾穿过高温火焰流体．初始液体在火焰流中发生化学反应，并形成反应戈焰流，谊 反应火焰流体系在火焰流的前方基体上沉积出纳米陶瓷薄膜．本文以制备。【-A120；纳米薄 膜为例，介绍用谊方法的制备过程和机理以及工艺特点，介绍了在制备过程中枝晶出现的 规律以厦如何防止枝晶出现．用SEM和T删分析了a-A120，纳米薄膜的显搬彤貌和结构． 纳米材料因其种种与传统材料不同的优异性能而成为当今材料科学研究中的一个热 点，其中纳米陶瓷材料的研究近年来更是十分活跃．陶瓷材料的纳米化使其性能产生了质 的提高。纳米陶瓷薄膜作为其重要发展方向之一，也得到了人们的高度重视。目前能够制 备纳米陶瓷薄膜的技术还比较局限，主要有电化学法、气相沉积技术、溶胶一凝胶法等． 本文提出了沉积纳米陶瓷薄膜的一种新方法——燃烧化学沉积法． 二、纳米陶瓷薄膜燃烧化学沉积制备工艺 燃烧化学沉积的基本过程是，配置好的初始反应液体从初始液体喷嘴喷出．然后被雾 化气喷嘴喷出的气体充分雾化。雾化后的液体细雾穿过氧乙炔火焰喷嘴产生的火焰热流体 并在其中发生化学反应，化学反应的结果是在火焰前方的基体或村底表面沉积出陶瓷化合 物，系统中其它生成物或不反应物均以气态离开基体或衬底表面．我们称该技术为燃烧化 学沉积技术． 初始液体由陶瓷反应物、液体燃剂、溶剂和添加剂组成．陶瓷反应物分解或化合生成 所需陶瓷．液体燃剂既保证初始液体能够燃烧，又保证与溶剂之间的互溶性．溶剂目的是 溶解陶瓷反应物．添加剂用于调节火焰稳定性、火焰速度和提高成核事． 设备包括燃烧化学沉积专用喷枪和辅助设备两部分．喷枪的关键组件是组合喷嘴。组 台喷嘴由保护气喷嘴、燃气火焰喷嘴、雾化气喷嘴和初始液体喷嘴组合而成．喷枪的作用 是将初始液体雾化为细雾状，产生火焰热流体，并让细雾充分穿过火焰热流体，实现质量 输运和燃烧化学反应．辅助设各包括：氧气、燃气、保护气和初始液体的供给和调节系统。 沉积工艺主要遵循如下五个指导原则：一是完全燃烧原则；二是雾化剂不过量原则； 三是雾化效果良好原则；四是火焰稳定性原则；?五是制取多晶超细结构原则。依照上述五 个原则．配制初始反应液体，进行了雾化试验，沉积动力学试验和喷涂条件试验，最后确 定了燃烧化学沉积工艺的一整套优化参数，包括喷嘴扩张喷!Zl的尺寸，初始液体在喷嘴处 的相对压力-雾化剂在烧嘴前的绝对压力，添加剂量，氧乙炔火焰参数．喷枪距试件的喷 涂距离．喷枪横向移动速度等(见参考文献11】第四、五、六章)。经过反复试验之后．用 该技术制备了平均晶粒度为30nm～50nm的。一A1舢纳米薄膜。 三、纳米陶瓷薄膜组织结构 图l、圈2是不同视场条件下a-AlzO。薄膜的表面形貌．从照片上看出薄膜表面均匀、平 整、密实。是理想的表面状态．电子探针微区半定量不同点分析表明^l含量均为100％(机器 灵敏度0．01％)． 圈1 SEM照片(×3000) 图2 SEM照片(×3000) 圈3是a—Rln纳米薄膜在透射电镜上获得的表面形貌．薄膜由众多随机取向的超细晶粒 组成，两相邻晶粒之间的取向关系如果看作相对旋转加平移而成，则旋转角度是任意分布的， 而且两晶粒相对平移矢量为非点阵矢量，这种取向关系呈随机分布的多晶结构与文献[2]所述 纳米晶材料的基本结构取得一致结果．对视场内晶粒放大倍数计算可知，a咄l舢纳米薄膜的 平均晶粒度为30rn～50nm．图4是在纳米膜上得到的多晶电子衍射环．系列完整的衍射环表 明薄膜结晶度完好。属超细结构(普通多晶结构由于晶粒较大得不到衍射环)．每一个环代表 一族{hkl)晶面反射．根据实验数据可算出每一个环所代表的d(¨)值．不同值所计算出的系列 d(埘)表明，d