ICF用Be薄膜的冷轧制备工艺的研究.pdfVIP

下载本文档

2
0
约 2页
2017-08-13 发布于安徽
举报
版权申诉

ICF用Be薄膜的冷轧制备工艺的研究.pdf

1、本文档共2页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

l CF用Be薄膜的冷轧制备工艺研究李朝阳易泰民谢军邢丕峰杨蒙生郑风成 (中国工程物理研究院激光聚变研究中心四川绵阳 621900) 美国NIF点火靶设计中，Be以及Be梯度掺铜靶丸作为首选靶型得到应用，在Be 靶丸的尺寸设计中需要其状态方程数据。高质量Be薄膜及台阶制备是Be状态方程靶制备的物质基础。轧制的方法制备厚度在几十微米厚度的金属薄膜方面有着效率高、表面粗糙度低以及厚度一致性好等优点。在ICF物理实验数据诊断中，Be薄膜主要用于X 光能带选通(如Dante谱仪、X光晶体谱仪、X光分幅相机、X光条纹相机、X光针孔相机等)和杂散光(激光、可见光)屏蔽，铍薄膜厚度有小于10#m甚至5#m的需要，而国内能够购买到的商品Be箔最小厚度为20#m左右。本文主要利用现有的多辊轧机系统对厚度为100／ml左右的Be板原料进行了冷轧和热处理工艺研究。Be薄膜的冷轧工艺研究主要在多辊轧机的16辊辊系上进行，工作辊的直径从30mm至10rrma左右，工作辊的材质分别有高速钢、轴承钢以及硬质合金材料等。#LN过程中研究了工作辊材质、直径对Be薄膜轧制效率、产品质量等方面的影响，对轧制Be薄膜的粗糙度、厚度及厚度一致性进行了测量统计分析。对Be原料薄膜和轧制成品和中间热处理产品进行了XRD测试分析和扫描电镜测试分析。通过采用多辊轧机冷轧和中间热处理工艺的研究，用冷轧的方法制备出厚度范围在 5#m--80#m内不同厚度规格的Be薄膜，确定了不同厚度Be膜的冷轧和热处理工艺。轴承钢或高速钢工作辊#LN厚度至50／un左右，进行一次退火热处理；Be薄膜的厚度从直径为16mm的高速钢工作辊，需要#LN数百道次。轧制实验结果表明使用硬质合金钢辊进行轧制厚度小于50#m的Be薄膜可以获得很大的道次压下量，但同时也造成Be薄膜边缘碎裂严重，进而造成厚度小于20#m的Be薄膜成品率极低。经过冷轧以及热处理后，Be薄膜的晶粒尺寸得到明显细化，晶粒从原料的微米量级细化到了数十纳米左右。原料Be薄膜表面粗糙度在微米量级，而SL*U产品Be薄膜的表面粗糙度尺q一般小于100rim，也降低了一两个量级。通过不同变形率Be薄膜的XRD 18 衍射数据表明Be薄膜冷轧变形50％左右需要进行退火热处理，这样可以保证冷轧过程中Be薄膜内部产生的应力和缺陷得以部分消除，也降低了Be薄膜中微小孔隙存在的几率，经过退火热处理的Be薄膜可以继续轧制。通过CLN和热处理工艺的优化，最终轧制出了极限厚度4#m左右的Be薄膜，薄膜的面积在10mmxlomm左右。 19