原创力文档- 1、本文档共4页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第14卷专辑3 中国有色金属学报 2004年10月
V01．14S3 TheChinese ofNonferrousMetals 2004
JournaI Oct．
文章编号：1004—0609(2004)S3—0478—04
ZnO基薄膜载流子传输特性研究①
边继明，李效民，张灿云，赵俊亮
(中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室，上海200050)
摘 要：通过对ZnO基薄膜的载流子传输特性研究。实现对ZnO基薄膜电学性能的控制，解决氧化锌薄膜中难
于实现有效受主掺杂的困难，提供一种制备P型ZnO膜及其同质p_n结材料的新方法，以满足制备ZnO基短波
长光电子器件的需要。采用超声喷雾热解法，以醋酸锌水溶液为前驱体，分别以醋酸铵和硝酸铟为氮(N)源和铟
影响规律。研究结果表明：所得ZnO基薄膜结构均匀致密，表面光滑平整。在优化工艺下制备了氮铟共掺杂的p
型ZnO薄膜，电阻率约为1．0×10-3n·cm，载流子浓度约为1．0×10”／cm3。通过在P型ZnO薄膜上沉积未掺
整流效应。
关键词：P型ZnO薄膜；同质p-n结；超声喷雾热分解
Carrier characteristicsofZnObasedfilms
transportation
BIAN Xiao—min，ZHANG
Ji—ming，LI Can—yun，ZHAO
Jun—liang
(State of PerformanceCeramicsand IⅥicrostructures，
KeyLaboratory Superfine
High
Instituteof of
Ceramics，Chinese 200050，China)
Academy
Shanghai Sciences，Shanghai
filmshave inthefieldsofultraviolet andLDsthanks
Abstract：ZnO detectors，LEDs tO
greatpotentialapplications
its
wideband eV)andexciton meV)atroom this
gap(3．37 high bindingenergy(60 temperature．Inpaper．undoped
andN—In ZnOfilms on ultrasonic
were
codoped depositedSi(i00)byspraypyrolysis．Thelow-resistivityp-type
3 X
ZnOfilmwiththe ofabout1．0×10 carrierconcentrationofabout1．0 1019cm一3，and
文档评论（0）