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型 堑 丝 塑 .盐 磁性纳米膜微波高磁导率理论与实验研究4 何华辉,江建军 (华中科技大学电子科学与技术系,湖北武汉430074) 摘要: 磁性纳米膜的应用涉及磁记录头、微电感、 提出了一种用于计算层状化结构动态磁化率的方法。 微变压器、电磁噪声消除器、高频磁传感器等,其核心 材料是软磁薄膜,要求其具有高的磁导率并能保持到几 频下铁磁金属膜和磁月#磁,磁多层膜的高频特性,发现 百MHz甚至GHz微波频段。为了获得满足要求的高磁 suhl【12】 薄膜中表面钉扎效应显著影响高频特性。Harry 导率和频率响应特性磁性纳米膜,本文分别从机理和实 研究了动态磁化中的耗散机理,大约分两种:直接到晶 验研究角度,系统研究了磁性纳米膜的高磁导率理论。 格的弛豫:经由许多磁模激发的间接弛豫。zhoull“推 首先从理论研究角度,系统研究了单层纳米膜和纳米颗 导了垂直入射电磁波通过由磁性月E磁性层组成的有限 粒膜的微波高磁导率机理.单层纳米膜高磁导率主要取 超晶格的传输公式,结果表明,与磁导率的共振特性以 决于高饱和磁化强度和面内可调的各向异性。从纳米层 及超晶格的B10ch波的禁带有关。尽管国内外已开始了 次对纳米颗粒膜的交换耦合开展了深入的研究,应用微 对磁性薄膜微波电磁特性的理论分析,但有关磁性纳米 磁学分析了交换耦合作用的物理图像,交换耦合对克服 膜微波高磁导率理论研究方面的公开报导较少”4’”】。 退磁效应、提高微波磁导率和磁损耗、提高电阻率等方 从理论上研究分析影响多种结构形式的磁性纳米 面都起到关键作用。其次从计算模拟角度,深八分析了 薄膜微波磁导率和磁损耗的主要因素及其作用机理,可 纳米膜的交换耦合、各向异性、逾渗阈值、电阻率等主 以揭示纳米效应对改善与提高磁性薄膜微波电磁响应 要因素对纳米膜微波磁导率作用。为获得具有微波磁导 性能的贡献,从而为获得纳米磁性膜的微波高磁导率、 率和兼顾高电阻率的磁性纳米膜,在逾渗阈值附近,进 大磁损耗(或低磁损耗)提供理论指导。理论研究表明 行了纳米膜的电阻率与磁导率相关性研究.最后,从典 饱和磁化强度、磁各向异性等效场、电阻率、损耗系数 型磁性纳米膜制备工艺角度,研究了溅射沉积的 等是实现纳米磁性膜微波高磁导率要调控的关键电磁 参量。薄膜纳米晶结构中晶粒交换耦合相互作用对磁各 Fe40c040820合金薄膜单层纳米膜和采用顺序沉积 向异性和磁导率影响显著。各单层厚度的纳米尺寸效应 c040F040820,si02不连续多层纳米颗粒膜,对高磁导率机 理进行了实验验证。 可使纳米多层膜中位移涡流的影响作用频率到达微波 关键词: 微波磁导率;纳米膜;磁各向异性:交换耦 段,对提高微波磁导率起关键作用。纳米颗粒膜中电介 合作用:电阻率;软磁性能;磁性薄膜 质的含量及与之密切相关的微结构对电磁性能影响显 中图分类号: 0484.4 文献标识码:A 著,磁性颗粒的纳米尺寸效应在提高纳米颗粒膜微波磁 文童编号:1001.973l(2007)增刊.0944.08导率中起主导作用。在理论成果指导下.研制出具有较 高微波磁导率以及电阻率可调控的磁性纳米膜材料””。 l引言 2

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