F-P腔式光纤压力传感器温度补偿设计的研究.pdfVIP

·78· 计测技术 2013年第33卷增刊 F-P腔式光纤压力传感器温度补偿设计研究 王增健 (中航长城计量测试(天津)有限公司，天津300457) 摘要：F．P式光纤压力传感器因其独有的优点广泛应用于军事、民用领域。由于自身结构的关系，F-P式光 纤压力传感器的性能受温度影响较大。本文通过对中空F．P式光纤压力传感器制作过程中相关参数的设计计算， 对如何实现传感器自身的温度补偿设计进行了探索性研究。 关键词：F—P腔；压力传感器；温度补偿 中图分类号：m12 文献标识码：B 0 引言 与传统的膜片式压力传感器相比较，中空光纤式 F．P压力传感器制作低压力传感器相对容易，而且结 相比于传统应变、压力等传感器，光纤光栅传感 构上可以实现热补偿功能，其结构示意图如图1 器具有信号不受电磁场干扰、绝缘性高、防暴性好等 诸多优点，因此自1989年首次报道以来，光纤光栅传所示。 感技术在民用和军事领域都受到越来越广泛的关注， 并且已经取得快速持续发展。 Fabery．Perot(F—P)光纤传感器的结构简单灵巧、 体积小、安装简便，在微机电系统、超声探测、压力 测量等领域有着广泛应用。F-P压力传感器的基本测量 原理是以压力测量为基础的，压力和温度是影响F—P 传感器腔长的两个重要参数，因此F-P压力传感器的 图1传感器示意图 温度特性直接影响其在压力测量上的性能表现。可以 通过外部补偿的方式减小温度对压力测量的影响，本 压力传感器采用单模光纤做为导光光纤，传感器 文通过对中空式F．P压力传感器制作过程中相关参数 的弹性体(或称为敏感元件)为中空光纤，可以是毛 细玻璃管或者是通过刻蚀得到的中空光纤，并将其焊 的设计控制，实现自身的温度补偿，并通过实验 接在导光光纤的末端，焊接方式可以是通过近红外激 验证。 光器焊接，或者是通过高压电极放电产生的电弧进行 1 中空光纤式F—P腔压力传感器感压原理 熔接，熔接强度应保证足够高；将一根由单模光纤和 多模光纤焊接而成的小段光纤焊接至毛细管另外一端， 中空光纤式F-P腔压力传感器属于非本征型(EF— 构成F．P腔的另外一个反射面。这样就构成外腔式的 PI)传感器的一种，其F—P腔内介质为空气，相对于 F．P腔光纤压力传感器结构。使用过程中导光光纤将测 腔内介质是光纤本身的本征型(IFPI)光纤传感器， E聊传感器可以通过对光纤、准直毛细管材料和F-P量信号导入空腔中，光纤一个端面作为F-P腔的一个 反射面，返回一部分光能量，反光光纤的端面作为另 腔结构等参数的合理选择，使光纤F-P温度传感器对 一个F．P腔的反射面，反射回剩余光能量，在信号接 环境压力不敏感，同时对大范围的温度变化影响做自 收端形成多光束干涉，通过信号分析系统即可得到F-P 动补偿，所以EF吼传感器具有极小的温度一压力交叉 腔的光谱。当压力发生变化时，中空光纤发生变形， 灵敏度，更适合用于精确地实现温度、压力、应变等