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微磨料超声汽雾流抛光加工技术及实验研究 Technologyandexperimentalstudyon polishingbymicro abrasiveultrasonicm ist 汪帮富 ，殷 振’，李 华’，曹自洋’，宋 娟’ WANG Bang-fu’．-，YINZhen’，LlHua ，CAOZi．yang，SONG Juan’ (1．苏州科技学院，苏州215009；2．江苏大学，镇江 212013) 摘 要：提出了一种新型精密抛光加工方法，即微磨料超声汽雾流抛光加工。它是用含有微磨料的抛光 液经超声振动使之雾化形成汽雾流，用此含有微磨料的汽雾流进行冲蚀工件表面而去除工件 材料的加工方法。通过对此方法的技术分析和实验研究，认为这一新型的抛光方法在精密加 工上是可行的，能够达到去除工件材料，提高表面质量的目的。 关键词；微磨料；超声振动；汽雾流；抛光 中圈分类号：TH142 文献标识码 ：A 文章编号：1009—0134(2015)02(下)一0027-04 Doi：10．3969／J．Issn．1009-0134．2015．02(下)．10 0 引言 如图1所示。其中，微量泵重要的作用运输含微磨粒的 磨粒流加工技术是目前国内外在表面超精密加工技术 抛光浆体到雾化器的内腔 中，对浆体没有加速和能量传 上应用和研究的热点之一，但其存在如磨料团聚 (当磨料 递 的作用 ，故抛光浆体在雾化器 内腔 中流动速度非常 颗粒为纳米级时，在磨料水射流形成过程中，磨料颗粒有 低，对雾化器的内腔和振动面的磨损可 以忽略不考虑， 团聚趋势)、微细磨料加工时喷嘴堵塞 (由于微细磨料水 同时超声振动本事具有防止堵塞的作用，防止微磨粒在 射流喷嘴尺寸较小，在射流开关的过程 中，极易堵塞)和 雾化器内部堵塞通道。因此，微磨料超声汽雾流抛光加 喷嘴磨损破坏等问题 。本文在对汽雾超声的研究中，发现 工方法属于一种 “冷、柔”加工方式，具有无机械切削 含有微磨料的液体经超声雾化后形成的汽雾具有冲蚀力， 力，加工过程不产生热损伤，加工冲蚀力较柔软，加工 可用于对工件表面抛光加工处理，本文在此基础上提出微 表面粗糙度均匀且对工件无亚表面损伤，且不存在磨料 磨料超声汽雾流抛光的加工方法，即用含有微磨料的溶液 团聚问题、微细磨料加工时喷嘴堵塞的问题和喷嘴磨损 通过超声振动形成的汽雾流来进行抛光加工，具体来说是 破坏的问题等优点。 用超声振动来将含微磨料的溶液雾化，形成汽雾流，再用 2 超声雾化器的设计 含有微磨料的汽雾来进行抛光加工 0】。 通过上述原理的介绍，我们可 以得 出在微磨料超声 1 微磨料超声汽雾流抛光加工方法的原理 汽雾流抛光加工过程 中，含有微磨料的汽雾具有的能量 微磨料超声汽雾流抛光加工方法的基本原理是利用 是加工的关键，特别是微磨料所具有的能量，而这些能 具有一定动能的微磨料去冲蚀工件表面，使得工件表面 量是 由振动面在超声振动作用下产生的，故在系统设计 抛光区域内局部因而产生磨削、冲蚀 以及剪切等作用， 中能够产生振动的超声雾化器是设计的重点。本课题所 从而达到去除工件材料的目。为了让微磨料获得初速度 设计超声雾化器主要 由换能器和变幅杆两部分组成，其 和动能，我们采用抛光液作为载体，通过超声振动来传 结构如 图2所示 。超声雾化器雾化量与雾化面的振幅密 递能量。具体来讲，将配好含有微磨料颗粒的抛光浆体 切相关，在输入功率一定的情况下，前后盖板的材料、