硅基MEMS标准体系研究.pdfVIP

硅基 MEMS 标准体 系研究 ■ 机械科学研究总院 中机生产力促进中心 刘 伟 丁红宇 摘 要 本文介绍了硅基MEMS 标准化国内外发展状况， 阐述了硅基MEMS 标准体系在我国硅基MEMS 标准化工作的中的意义， 并说明了我国硅基MEMS 标准体系框架的构成以及未来的标准研究内容。 关键词 硅基MEMS 标准化 标准体系 1 引言 石英器件的 MEMS 市场将达到 100 亿 2 国内外硅基 MEMS 标准化 （ 美元； 发表的 “全球微机电 系 现状 MEMS micro electro - SEMI / mechanical systems ， 微机电系统 ） 统市场和商机” 研究报告中指出 ， （1） 国外硅基MEMS 标准化现状 或称微机械 （Micromachine ， 日本惯 MEMS 产业总规模在 2010 年可望达 国外在上个世纪末就开始了硅基 用 词 ） 或 称 微 系 统 技 术 到950 亿美元， 核心微机电组件产业 MEMS 标准化研究和尝试， 如美国在 （ ， 欧洲惯 规模在 年可达到 亿美元； 在 上个世纪八十年代末就已经将表面牺 Microsystems Technology 2010 99 用词） 是指运用半导体工艺以及其他 “2008 年中国 MEMS 器件市场发展趋 牲层工艺标准化。 现在， MEMS 标准 先进工艺技术制作的， 集微型传感器、 势及 2012 年前景预测研究报告” 中 化已成为国际共识， 许多发达国家和 微型机构、 微型执行器以及信号处理 指出全球 MEMS 市场从 2001 年至 标准化组织都在进行 MEMS 标准化工 和控制电路、 接口、 通讯等于一体的 2010 年将保持 12.3% 的年复合增长 作， 并将硅基 MEMS 作为主要部分， 微型器件或微型系统。 硅基 MEMS 是 率。 如 2001 年 ， 欧盟正式启 动了 指以硅为基本材料， 运用集成电路技 硅基 MEMS 技术是 MEMS 主流 MEMSTANSD （ Standardization for 术制造微机电器件、 装置或系统的技 技术之一， 硅基 MEMS 产品在 MEMS Microsystems ， 微系统标准化） 专项， 术及产品的统称。 产业中占有很大比重。 硅基 MEMS 技 系统性地开展了 《 微系统技术标准化 起源于上个世纪 年代 术日臻成熟， 已经从单纯的科研探索 调查分析》 和 《 微系统技术标准化发 MEMS 60 的集成电路技术， 在 年代伯利克大 阶段进入技术开发和应用阶段。 而依 展规划》 工作， 并在 《 微系统技术标 80 学运用表面牺牲层技术加工出静电微 据标准化运行规律， 开展硅基 MEMS 准化发展规划》 中对硅材料、 硅基加 电机， 标志着 MEMS 时代到来， 并使 标准化的时机已经成熟。 开展硅基 工工艺等进行了详细规划。 得 MEMS 器件成为可能。 如今 MEMS MEMS 标准化一方面可以最大程度提 国外在硅基MEMS 标准化研究与 技术和器件已经在许多领域得到广泛 高现实的重复利用效益， 另一方面为 应用上也取得了许多成果。 如美国的 的应用， 如航天工业中使用的 MEMS 后续技术研发与大规模产业化奠定高 MCNC、 ADI 、 SANDIA 国家实验室均 惯性传感器、 汽车安全气囊中使用的 水准技术平台 。 因