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* Single piston steam engine * Micro Mirror driven by thermal actuator * Six-legged robotic bug By University of California at Berkeley * Optical devices * Gear Boxes * Mechanical Structures * Deformable Links and Levers * 1.2 MEMS的本质特征 “3M” 特点 小型化Miniaturization 微电子集成Microelectronics Integration 高精度的批量制造Mass Fabrication with Precision * MEMS的本质特征(续1） 小型化 (为什么？) 小?高谐振频率、低热惯性、质量变小等 比例尺度定律 举例 p.9 * MEMS的本质特征(续2） * MEMS的本质特征(续3） 微电子集成 单片集成 减小噪声, 提高精度, 实现传感器的阵列扫描和寻址, 传感器的补偿等 高精度的批量制造 * 1.3 器件：传感器与执行器 能量域和换能器 化学能 辐射能 磁能 热能 电能 机械能 * 1.3器件：传感器与执行器-1 加速度传感器 机械能?电能 气体传感器 化学能?电能 温度传感器 热能?电能 * 1.3 器件：传感器