直流电压下基于电液耦合动力学原理的微喷试验的研究.pdfVIP

1．微米／纳米加工技术 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会 直流电压下基于电液耦合动力学原理的微喷试验研究 黄永芳，徐磊，郑高峰，刘志鹏，孙道恒’ (厦门大学机电系，中国厦门，361005) 制造微纳米结构的新方法，具有喷印轨迹易于控制、工艺过程简单灵活、无需掩 膜版与光刻、制造成本低等优点，适用于聚合物、生物样品等多种原料的微结构 制造。基于EHD原理的微喷印技术，利用电场诱导溶液变形在喷嘴处形成锥一射 流模式，射流直径对喷嘴内径的依赖性小，并且可实现高粘度溶液的喷印，这些 优点是传统喷印技术所不具备的，目前国际上有许多研究小组正在开展这方面的 基础理论【1】【2]和应用研刭31。本文基于EHD原理建立了微喷印系统，讨论了施加 直流电压的微喷印规律，分析了电压值、溶液浓度、收集板材质等因素对喷印过 程的影响，通过对喷印规律的研究初步掌握控制喷印尺寸和定位精度的方法，为 下阶段喷印技术的应用研究奠定基础。 基于EHD原理的微喷印系统见图l所示，主要包括精密注射泵、直流电压源、 二维运动平台和在线观测用CCD。实验中采用空心针头作为喷嘴，内径分别为 3％～18％；精密注射泵的供液速度为501．d／h；选用硅片和玻璃两种材质的收集板； 收集板运动速度的范围为5-40mrn／s；当直流电压值、溶液浓度、喷嘴一收集板 间距、收集板材质和运动速度等影响因素满足合适的匹配条件时，可以建立稳定 的射流，本文主要分析电压值、溶液浓度和收集板材质三个因素对喷印的影响。 以硅片为收集板，实验中缓慢升高电压，等喷头处产生稳定射流之后再将电 压值减小，考察喷射过程中电压值对喷印结果的影响。稳定喷射过程，电压分别 调节为2．5kV和2．0kV时得到的微喷线如图2所示，可以看出线宽有变小的趋势。 线宽与PEO浓度之间的关系曲线如图3所示，-PEO浓度从3％增大至18％，微喷线 示，PEO浓度增加，引起溶液表面张力减小，导致阀值电压下降；当PEO浓度增 大到一定数值时，硅片上收集的微喷线容易出现螺旋现象，通过提高收集板的运 动速度可以避免螺旋现象而得到平滑的直线，如图5所示。为进一步分析收集板 对喷印结构的影响，文中采用玻璃为收集板，得到如图6所示点一细线相间的射流 线，说明收集板材质对射流效果有较大的影响。 通过直流电压作用下的电液耦合喷印试验，讨论了电压值、溶液浓度和收集 板材质三个因素对喷印的影响规律。通过喷印规律的研究可为电液耦合喷印技术 的应用提供了相关理论依据。【正文字数：942字】 参考文献： Soo [1】JoonghyukKim，HyuncheolOh，SangKim，AerosolScience[J]，2008，V01(39)：819—825 [2]C．一H．Chen，D．A．Saville，I．A．Aksay,Appl．Phys．Lea[J]，2006，V01(88)：154104 et 【3】3 Jang-ungPark，MattHardyal,NatureMaterial[J]，2007：1—8 +通讯作者：孙道恒教授厦门大学机电工程系0592．2185927 1 A一409 1 微米，纳米加I技术 中国微米纳米技术学会第十届学术年会 哆毒 蛩“一曼二当 a)25kvll b)20kV U 。。‘f 圜2电mW线宽#目＆*的NM圉．喷嘴自社为 2lOum，喷嘴一收#扳目距自3l曲n，rEO镕度为 5％．收女板运动速度为5mm／s．供液速度为509l／h。 j瓷。吐R徽镜放大倍数均为200倍．圈5，闰6I目。 目I#TEHDⅡ月∞微喷日系统厚自图 一=一目}$l 一*《一口《$# ∞∞∞∞