10-%27-10-Pa溅射离子泵的研制.pdfVIP

1o-’oPa溅射离子泵的研制 仇华兴 201 (上海真空泵厂 709) 唐景远 王金锁 (上海市计量测试技术研究院200233) 【摘 要】本文主要舟绍10“oPa溅射离子泵的研制，论述提高极限真空和抽气速率的方法。 【主臆词】溅射高子泵极限真空抽气速率 一、概述 中国科学院近代物理研究所承担了国家重离子加速器工程一超高真 空冷却储存环的研制任务。提高CSR储存环的真空度，就是为了减少柬流 与残余气体相互作用而产生的电荷交换效应。目前国际上重离子冷却储存 环的平均工作真空度为1．33×1旷8Pa，因此真空系统的静态真空度要求优 于6．7×101Pa，以保证重离子在储存环内的寿命大干5秒。根据设计要 求，冷态储存环的静态真空度为2．7×10‘9Pa，因而，作为超高真空获得 设备的溅射离子泵的极限真空度必须优于6．7×10。oPa。 以前，上海真空泵厂曾为北京正负电子对撞机工程的电子储存环研制 并批量生产过溅射离子泵，其极限寞度为6．7×10。9Pa，如今，要研制在 极限真空度方面还要提高一个量级的离子泵，确实不是一件容易的事。当 今，国际上一些著名的真空泵制造厂商生产的离子泵，极限真空也不过在 6．7×10“Opa左右(表一)。 表一 日本ULYAC美国VARIAN本项目设计 主要技术内容 公司 公司 要求 产品型号 PST一400 500 L-400 (7～8)×10一 极限真空度(Pa) 优于100 6．7X10—10 抽气速率(L／s)(6．7× 355 405 400 I 1017Pa时) I 高压输出(kV) 7 7 7／4 显示方式 数字显示 数字显示 数字显示 自动保护功能 有 有 多种功能 二、主要采取措施 ／S的抽气速率，以及要求溅射离子泵长期使用的可靠性，在设计时应主 要考虑以下三个问题： 第一，在超高真空状态下，必须要尽可能降低泵体和测试罩内表面的 放气率(特别是氢气)以及测试用规管的放气率； 第二，在超高真空状态下(6．7×101Pa时)，必须通过泵内部结构改 进来提高泵的抽气速率； 第三．通过重新设计高压的电极，使高压连接接口装拆方便，不会因 高压击穿而造成泵及系统的漏气，以期增强泵长期使用的可靠性。 为此，在实际设计、制造、调试过程中采取了以下重要措施： i．选用材料的改进 泵体选用316L不锈钢材料。该材料的气密性、可塑性均比1Crl8NigTi 不锈钢材料要优越得多。通过～些实例，可说明了316L不锈钢的优点。 例一．在按标准设计的测量极限真空用的测试罩上面可装IMRl03型 板封住。由于盲板是现成的，是用ICrlSNi9Ti材料制成的，当抽到2．7 Xi0。8Pa时，经检漏发现此盲板上有一个微小漏孔．经堵塞后真空度明显 上升。．最终以316L材料做成的盲板安装上去后，无该问题出现。 例二，在用同一副模具压制泵俸时，使用316L材料压制的泵体美观、 省力、成形方便、报废率极小，而用iCrl8Ni9Ti材料压制的泵体就远远 不及了。所以要达到6．7×