掺杂_扩散_离子注入工艺.pdfVIP

· 一 全集成式 收 发 信 机 用 低 成 本 衬 底 转 移技 术 探讨 了纳 米 晶双 相 稀 土 永磁 合 金 在 夹 具 园 片抛 光法 和 在 离 子 薄化 技 术 中的 电镜 薄 膜 样 品 的制 , 会 , 英 〕 艳 , , 备 比较 了利用 离子 薄化技术 和 电解 双 喷 加 离 子 薄化 〔 花 , 技术 获得 的纳米 晶双 相稀 土 永磁合金 的透射 电镜分析 , 昭一 一 结果 优化 了两 种 方法 制 备 电镜 薄膜 样 品 的实验 条件 介绍 了一 种 低 成本 后 处 理 技 术 , 它 可 将 用 任何 集 及 参数范 围。 探索 出较 佳 的用 于透 射 电镜 观察分析 的 成 电路工 艺制成 的芯 片级 电路转移 到玻璃 衬底上 。 这 纳米 晶双 相稀 土 永磁 合金 薄膜样 品 的制备方法 。 参 种技术能使标准硅 集成 电路加工过程 的优点与衬底选 择 的 由 起 不 能 出 量 的无 源 自 度结合 来 但 集成 高质 元 件 , 而 且 可 避 电 间 的 扰 。 参 磁控溅射沉积纳 米 构 银 及 征 刊 昊 浩 免各 路之 串 结 薄膜 其表 〔 ,