扩大纳米干涉仪测量范围研究.pdfVIP

扩大纳米干涉仪测量范围的研究 程晓辉李达成赵洋 (清华大学国家精密测试技术与仪器t点实验室北京100084) ■一：车文在在已有的纳米干涉仪涓量方案的基础上提出了扩大翻量范围的方法，从 理论上蕾善将原来的二分之一单波长(0．3l唧珊)的嗣量范曩扩大到毫米量壤。文中精出了 新的信号赴囊方法和谩差分析。整十纛境的测量不确定度为o．10^,-n+(1／2n+I)×1．6× lO一朋-(n为干涉条毁的薹熬级衣)。 关-一：纳米干涉仪 干涉秉纹薹羹与夺羲t移／ l 引言 纳米、重纳朱精度的位移测量是长度计量的一个重要发展方向。光学干涉仪是实现这个目标 的一十有力的手段，目前出现的各种干涉仪方案见参考文献“一。在所有的这些干涉仪中。除了 光学原理的设计以外，如何获得稳定的干掺条纹和如何对干涉条纹的精确测量是完成整个测量的 美健同囊。倒如，僖振光干涉仪常常以两个正交方向上的偏撮光作为测量光和参考光，由于它易 于设计成共光路结构，因此比一般的形式的干涉仪具有更强的抗干扰能力，在信号处理方面采用 外差、一翻解讽、相位测量等方法实现高精度位移测量。目前商业化的双频激光干涉仪和单囊激 光干涉仪基本上都利用了偏振干涉的原理。 作者在研究合成波长理论和小数重合法干涉测量的基础上，提出了一种基于这种原理的新型 纳米干涉仪，测量分辨率可以达到亚纳米量级，见文献【“。圈1是干涉仪的基本原理圈，蔫坑的光 源采用热穗期的双纵模№一Ne激光器，利用输出两十偏振方向正交的双纵模构成了共光蘑的结 构，提高了抗干扰能力。通过理论分析，得到公式(1)： ■1纳米干涉仪的原理田 Idl：参考■；啦：嗣量■‘P鹅：●摄分光■；陷：分先t；P．■摄片；Dl，m：接收鼍 一75— l晤PBS ▲广刁广刁 卅 ●D， 一叫叫 y l D 圈2改进部分的原理田 B是：分光棱麓；P玛z：柚摄分光棱■；DI．巩．码：撵■嚣 她=知L “) 式中，△L是测量镜屿的位移，△￡为参考惋M．的补偿位移，^。是He—Ne激光器输出的一个单 波长，A。是激光器输出两个波长形威的台成波长。对测量镜纳米位移的测量，转化为对参考镜在 ^。尺度的测量，而后者是易于实现的。 实现纳米位移舅t分辨率是上述干涉仪的优点，但是它的测量范围受到参考镜位移长度的限 制。本文在已有纳米干涉仪方案的基础上，提出了改进方案使测量范围扩大蓟毫米量级，对具体 的信号分析和处理方法进行了理论分析，并给出误差分析。同时应该指出，环境扰动是棚约提膏 长度穗量分辨事的一十重要因素。随着测量范围的扩大，要保证实现纳米位移测量分辨率，建立 适于漕量的纳米环境也是十分重要的。这方面将有持于进一步的研究和改进。 2改进的方案及信号处理原理 在干涉仪的改进方案中主要解决了以下的几个问题： 2．1干涉●ttt蕾分的翻■ 在方寨中我们采用多个探测器：D，测量波长h对应的干涉信号(h的干涉信号与测量幢的位 移无关)，现和岛在空间位置上相差四分之一干涉条纹，测量相位差为9矿的k波长的干涉信号， 也即一个为血信号，另外一个为c*信号，利用它们之阃的相位超前和滞后关系就可以得到测量 镜的移动方向，并且通过其中任一路干涉信号进行计散就能够得到移动的整敷条纹个数。与干涉 仪舅量得到的小鼓级次相加就能够扩大干涉仪的测量范匿。公式(1)可以改写为 △z：={越：+鲁△c (2) 式中，。为测量得到的整数级敬。当采用12位计数器时，n=2“=柏96理论上的测量范围 她