单晶炉验证杂料可行性方案.pptVIP

光为单晶炉验证杂料的可行性报告 技术工艺部 可行性报告内容 验证杂料的目的 验证杂料的可行性 可验证杂料的种类 验证杂料的工艺方法 可行性方案结论 直拉单晶用料/多晶铸锭用料要求：严格控制多晶原料质量可靠性和稳定性。 一般情况下，单晶炉用料对硅料的质量要求比较严格，硅料质量的好坏直接影响单晶硅棒的质量和单晶硅棒成品率这样就要求对每个批次的料源进行检验，有的硅料可以用检验仪器进行检测。但一些碎硅料、米粒料、片料、硅粉料等杂料不能用仪器进行检测，这就要求找可行的方法进行验证，达到控制料源质量的目的。 验证杂料的目的 单晶炉验证杂料的可行性分析 1、 单晶炉技术上的可行性 a、验证杂料完全可以按照拉单晶技术工艺流程来进行，在整个拉晶工艺流程中就可以直观观察硅料的洁净程度（有无杂物、有无氧化等）。 b、通过提肩或者拉一小段单晶进行检测来判断硅料的一些基本电化学指标。 c、把整炉料拉成硅棒后（可以是单晶棒和多晶棒料）进行取样片，通过处理后进行详细检测来确定料源的少子寿命、氧碳含量等。 单晶炉验证杂料的可行性分析 2、 验证杂料成本上的可行性 a、 验证硅料的成本一般情况下是固定的（电费、人工、石英坩埚、设备折旧等）。详见单晶硅生产成本详表。 b、相对于每一批次几吨甚至几十吨的硅料来讲，这些成本是很少的，能够很好的控制料源的质量这些花费也是值得的。 （18英寸系统一般装料要求60公斤） 可验证杂料的种类 可验证杂料的种类很多：原生多晶、原生多晶碎料、碎硅片料、米粒料、硅粉料、回收料等。 验证杂料的工艺方法 验证杂料的工艺方法完全可按照直拉硅单晶的生产工艺来进行。 化料 稳定化 引晶 等径 收尾 停炉 装料 抽真空 检漏 调压 放肩 转肩 拆炉/清炉 验证杂料的工艺方法 验证杂料工艺方法注意事项： 1、装料的过程中就要检查硅料是否干净及硅料是否氧化等其他问题; 2、化料的时候观察熔液表面是否有不熔物; 3、引晶的时候是否引出单晶; 4、等径过程是否有断棱和吃杂; 5、取样片的测试的数据要准确无误。 单晶炉验证杂料的可行性结论 通过以上分析：单晶炉验证杂料工艺可控，成本相对于几吨甚至更多的硅料的价值很低。单晶炉完全能够作为验证杂料功能使用。