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XPS定量分析探讨 吴正龙北京师范大学分析测试中心100875 email：wuzl@bnu．e如。Cll 色器激发，采谱时的通能为30eV。这里我们主要对薄膜中的组分进行了分析测试。根据图l，由 40k 35k × 盈30k 望 蚤 罂25k ① t- 20k 15k BindingEnergy／eV 图1硅酸铕样品(90)表面的XPS谱 表l不同方法计算的硅酸铕样品表面组分 亘坌盒量 g(!堂坐墅 !if兰也型堑 Q(!堂坠墅 星旦!!堂!坐墅 (1)Scofield24．34 21．13 49．05 5．48 18．52 11．49 45．38 24．6 (2a)Wagn盯