三种弯曲旋转超声电机的原理及研究.pdfVIP

三种弯曲旋转超声电机的原理及研究.pdf

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第2 4 卷第3 期 压 电 与 声 光 . 24 . 3 V o l N o 2 0 0 2 年6 月 P IEZO EL ECTR IC S A COU STOO P T IC S J un e 2002   文章编号:(2002) 030 19 105 三种弯曲旋转超声电机的原理及研究 张 凯, 周铁英 (清华大学 物理系, 北京 100084)   摘 要: 介绍了三种不同结构的弯曲振动模态超声微电机。详细讨论了它们共同的驱动原理, 分别介绍了压电 片夹心式和压电管式电机的结构特点及性能测试。在此基础上, 研制了一种更易实现微型化的压电柱式超声微电 机, 并介绍了它的极化原理及结构。文章对弯曲振动模态超声电机的设计具有指导意义, 对其深入研究具有参考价 值。 关键词: 弯曲振动; 压电柱; 压电管; 超声电机 中图分类号: TM 282   文献标识码: A The Pr inc iple and Study on Three K inds of Bend ing V ibra tion U l tra son ic M otors , - ZHANG Ka i ZHOU T ie y ing ( . , , 100084, ) D ep t of Phy sics T singhua U n iver sity B eij ing Ch ina    : ( ) Abstract T h ree k in d s of ben d ing v ib rat ion u ltra son ic m o to r s U SM w ith d ifferen t structu res h ave been in tro . . , duced in th is p ap er T h eir dr iv ing p r in cip les h ave been fu ll d iscu ssed A fter th is th e structu re ch aracter ist ics an d fun c . , t ion test of bo th p iezoelectr ic san dw ich an d tube m o to r s h ave been stud ied F arth er m o re w e p u t fo rw ard a n ew k in d of cy l

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