各向异性磁电阻传感器Barber电极的优化设计.pdfVIP

维普资讯 62 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 2006年第25卷第l2期 各向异性磁电阻传感器 Barber电极的优化设计 陈 雁，高晓光，李建平 (中国科学院 电半学研究所 传感技术国家重点实验宣，北京 100080) 摘 要：利用ANSYS软件对各向异性磁电阻(AMR)传感器不同取向的Barber电极进行分析和计算，得 到不同取向Barber电极的磁电阻相对变化率随归一化磁场的变化曲线，从而为改善具有 Bm：ber电极的 AMR传感器输出曲线的对称性、优化AMR传感器的输出特性提供了理论依据。 关键词：各向异性磁电阻效应；Braber电极；有限元分析 中图分类号：TP212．13 文献标识码：A 文章编号：1000—9787(2006)12—0062—03 OptimizationdesignoftheBarber-poleinanisotropic magnetOresistancesensor CHEN Yan，GAO Xiao—guang，LIJian-ping (StateKeyLaboratoryOfTransducerTechnology，InstituteofElectronics，ChineseAcademy ofSciences，BeUlng100080，China) Abstract：Software ANSYS isused to analyse an Barber·po[ewith different direction ofan anisotropic magnetoresistance(AMR)sensor．Thecurvesoftheresistance’Srelativerateofchnageversusnormalizedmagnetic fieldareobtained，whichprovidesthetheoreticbasistoimprovethesymmetryoftheoutputcurvewithBraber— polesandoptimizetheperfomranceoftheAMR~ensor． Keywords：anisotropicmangetoresistance(AMR)effect；Barber-pole；finiteelementanalysis 0 弓I 言 式中 p为平均电阻率，且 各向异性磁电阻传感器是利用具有各向异性磁电阻 Pnv ∥+ ．．’ (3)， (anisotropiemagnetoresistanee，AMR)效应的传感器。早在 没有外磁场作用时，磁电阻材料的电阻率用P。表示， 1856年，WilliamThompson就在铁磁材料中发现了各向异 由于P。与p 差别很小，近似有 性磁电阻效应，但直到100多年以后，随着薄膜技术的发展 Ot=△p 0 ， (4) 成熟，这一效应才开始在传感器领域得以应用…。AMR传 po： ∥+ 』．