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　2005 年 仪 表 技 术 与 传 感 器 2005 　 　第 10 期 Instrument Technique and Sensor No 10 　 高分子湿度传感器的研制 陈翠萍 ,蒋 　波 ,谢光忠 ,蒋亚东 ( 电子科技大学光电子信息学院新型传感器教育部重点实验室, 四川 　成都 　610054) ( ) 　　摘要 :通过对湿敏材料 —聚酰亚胺 PI 的湿敏机理的分析 ,设计了高分子电容式湿度传感器的芯 片结构 ,并对其制作工艺进行了详细讨论。在此基础上 ,对传感器变送电路进行了研究 ,设计了以双时 基电路为主的信号处理电路 ,并最终