基于单晶硅各向异性特征的纳米压痕过程有限元仿真研究.pdfVIP

第37卷第4期 长春理工大学学报 (自然科学版) V01．37 No．4 2014年8月 JottrnalofChangchunUniversityofScienceandTechnology(NaturalScienceEdition) Aug．2014 基于单晶硅各向异性特征的 纳米压痕过程有限元仿真研究 马尧，王小月，黄虎，吕扬，赵宏伟 (吉林大学 机械科学与工程学院，长春 130025) 摘 要：本文采用各向异性弹塑性材料本构关系，利用非线性有限元软件MSC．Marc建立了单晶硅纳米压痕过程的三维模 型，分别用玻氏、维氏、圆锥形和球形压头对单晶硅 (100)晶面进行了纳米压痕过程的仿真分析，研究了单晶硅对于不同 形状的压头、不同压头半锥角、不同最大加载力的加、卸载响应特性。仿真结果表明，压入相同深度时，圆锥形压头所需 载荷最小，材料对圆锥形和球形压入产生的应力应变分布呈现出各向异性，体现 了单晶硅在不同晶向上的材料性能存在差 异。当最大加载力为25mN时，仿真得 出维氏压头在单晶硅 (100)晶面产生的压痕深度约为30Ohm，与相应实验结果基本 相符。 关键词：单晶硅；纳米压痕；有限元仿真；加、卸载响应特性 ；微观力学性能 中图分类号： 0411．3 文献标识码：A 文章编号：1672-9870(2014)04-0099-05 FEM StudyonNanoindentationProcessofM onocrystalSilicon MA Yao，WANG Xiaoyue，ZHAO Hongwei，HUANG Hu，LV Yang (CollegeofMechanicalScienceandTechnology，JilinUniversity，Chnagchun130025) Abstract：Anisotropic elastic——plastic constitutive relation was used in this paper ofrestablishing a three——dimensional modelaboutnanoindentation process on monocrystalsilicon by the non——linera finiteelementsoftwraeMSC．Mrac．The nanoindentation simulationswereperformedusingBerkovich，Vicker，conicaland sphericalindenterson monocrystalsili- con (100)planetostudytheresponsechatacteristicsofthemonocrystalsilicon fordifferentindentergeometries，differ- enthalf-angleofconicalindentersand differentmaximalloadsduring loading and unloading．Theresultsshow that，ofr htesame indentationdepth，theappliedloadwasthelowestinhtecasewiht conicalindenter，thestressnad straindis- tributionsofconicalnad sphericalindentation presented anisotropic thatreflected thematerialpropertiesofmonocrystal silicon rae dispraate in differentcrysatlorientation．Fora given maximalindentloadsof25mN，hte Vickersindenter generateda indentationdepthof300nm inthesimulationwhichwasclosetothecorrespondingexperimentresult． Key