微细工具机技术探讨.pdfVIP

工具機技術專輯 of the biomedical, 關鍵詞 communication-electricityand photothe demandofsmall（sizeare smaller than 10mm）but high ‧微型工具機 maso scale machine tool accuracy partsarefast growing.Themeso scale machine ‧微小化 miniaturization toolminiaturizis ed100 to 1,000 fromtimesthe ‧微細加工 micro machining traditional machine tool involume,isused formachining 摘要 these kind of small parts,Thisconcept not onlyfully accomplishesanideal“manufacturingof small 隨著生醫 、通訊及光電產業蓬勃發展 ，微小 components with small machine”, butalsomassively 而高精度元件的需求正快速成長 ，這些微小零組 件的尺寸多數小於 10mm，其表面也往往需要做出 e 1數百m 大小的微結構 ，以達到某些特定功能。 industry production benefit. 微型工具機將傳統工具機微型化 ，體積縮小100至 1000倍 ，用來加工此類微小元件，充分達到以小 前言 機器加工小零件之理想 ，可大量節省空間，減少 隨著生醫 、通訊及光電產業蓬勃發展 ，微小 能源消耗 ，並有助於降低設備投資成本，提升產 而高精度元件 （圖一）的需求正快速成長，這些 業生產效益 。 │ │ 2006.03 │17 工具機技術專輯 微小零組件的尺寸多數小於 10mm，其表面也往往 隨著微型元件的普及發展需要 ，有必要將加工設 需要做出 1~數百μm 大小的微結構 ，以達到某些 備亦同時微型化 。以一般加工設備對於工件的體 特定功能 。生產這些微小零組件的方法與一般數 積大小比例約在 100~10000倍來看 ，加工10mm大 十 mm以上零組件的方式有顯著的不同 ，必須使用 小 工 件 的 設 備 大 小 應 該 可 以 縮 小 至 3 微細加工技術 。 (50mm~200mm)；若以進給行程計算，機台尺寸與 目前加工這些微小零組件的設備為小型高精 行程比約為 3~6倍 ，10mm~50mm行程的微型工具