高真空电子器件金属零件化学研磨工艺.pdfVIP

No．4 第23卷第4期 电镀与涂饰 V01．23 2004年8月 ElectmplatingFinishing Aug．2004 高真空电子器件金属零件化学研磨工艺 屈战民 (西安眉坞化工纸业有限公司，西安 710301) 摘要：普通型不锈钢化学研磨液无法消除毛刺、保证零件精密公差尺寸和表面粗糙度，严重影响高真空电子 cm 器件金属零件的使用性能。确定了一套完整的54 FS高真空电子器件金属零件化学研磨工艺。介绍了该工艺的工 cm 艺流程及工艺规范。讨论了化学研磨原理及金属哑光表面控制。测量了54 FS