一种基于脉冲红外光源和折叠光路的微小型红外光谱仪.pdfVIP

第27卷，第3期 光谱学与光谱分析 2O0 and 7年3月 sp_ectralAnalysis March。2007 Spectroscopy 一种基于脉冲红外光源和折叠光路的微小型红外光谱仪 杜晓晴，温志渝，向贤毅，龙再川，刘海涛，陈 勤 重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室，重庆大学光电工程学院微系统研究中心，重庆400044 摘要设计了一种不同于传统光栅扫描型光谱仪的新型微小型红外光谱仪。该光谱仪采用灵敏度高且体 积小巧的非致冷红外探测器LiTa()3，在光路上直接采用MEMS脉冲红外光源，从而去掉了传统机械斩波 器，并通过折叠光路进一步减小光谱仪体积。初步结果显示，所设计的微小型红外光谱仪的方法是可行的， ooo～5ooo 工作波段2 m，光谱带宽45胁，可用来分析塑料薄膜、生物液体以及环境大气在内的样品。 关键词红外光谱仪；微系统；微电子机械加工；脉冲红外光源；折叠光路 中图分类号：TH83文献标识码：A 文章编号：1000．0593(2007)03一0619一04 引 言 1微小型红外光谱仪的结构设计 红外光谱仪在石油化工、医药卫生、农业、畜牧业、林 微小型红外光谱仪主要由红外光源系统、分光系统，红 业、生物等众多分析领域得到了迅速而广泛的应用。传统的 外探测器以及处理电路组成，原理方框图如图l所示。处于 红外光谱仪虽然分辨率高，但体积庞大、结构复杂、价格昂 物镜焦平面上的红外点光源发出的光，由准直物镜准直变为 贵，大大限制了其应用范围。近年来由于环境监测、生物医 平行光束后，入射到扫描光栅，经光栅分光后，形成多束单 学、科技农业、军事分析以及工业流程监控等领域的现代化 色平行光，某一特定波长的单色平行光经聚光物镜，会聚到 发展，要求分析仪器小型化、轻量化，在特殊场合(如环保、 处于聚光物镜焦面上的红外探测器光敏面。通过扫描光栅改 野外、现场检测、星载分析检测等)还要求仪器牢固耐振，因 变光栅转动角度来接收不同波长的单色入射光，从而获得整 此光谱仪微小型化成为分析仪器发展的迫切需求[1司]。 个波段的光谱信号。这些信号由光谱信号采集系统获取，经 由于微电子机械加工(MEMS)技术制作器件具有许多优光谱识别处理，最终获得红外光谱信息。 势，如体积小、功耗低，灵敏度高、重复性好、易批量生产、 成本低、加工工艺稳定等，因此基于MEMS技术的微型光谱 光潭 仪成为光谱仪微型化发展的主要方向[4-8]。目前国外利用 MEMS技术和IC集成技术，已经可以制作具有一定分辨率 和响应波段、整个仪器尺寸达到毫米量级的集成化微型红外 分光系统 stn垃tu他sdIle啪tic 光谱仪弦8。，但从国内文献看，基于MEMS技术的微型红外 F唔l-I’Ile pI锄0fthe micro-iIlf哺md 光谱仪还未见报道。 sp∞tmmeter 本文提出了一种不同于传统光栅扫描型光谱仪的新型微 1．1红外探测器 小型红外光谱仪。该光谱仪采用体积小巧的热释电探测器 为了实现光谱仪微小型化，采用灵敏度高且体积小巧的 Li仉103作为红外敏感元件，并通过采用MEMS红外脉冲光 源以及折叠光路，大大缩小了光谱仪体积，同时由于整个仪 非致冷热释电探测器